[发明专利]颗粒自动控制方法及系统有效
| 申请号： | 200910056736.X | 申请日： | 2009-08-20 |
| 公开（公告）号： | CN101995853A | 公开（公告）日： | 2011-03-30 |
| 发明（设计）人： | 王邕保 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 |
| 主分类号： | G05B19/418 | 分类号： | G05B19/418;H01L21/00 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 李丽 |
| 地址： | 201203 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种颗粒自动控制方法及系统。其中颗粒自动控制方法，包括：获取晶圆表面或工艺环境中颗粒个数；设置颗粒个数的允许上限值；计算信号值，所述信号值与颗粒个数和颗粒个数的允许上限值有关联；根据信号值分析颗粒控制情况，在任意五个连续信号值中有至少四个为中间值，判定为颗粒失控。本发明的“五点法”原则能直接应用SPC软件进行分析实现对颗粒的自动控制，而无需将另外投资其他软件，使资源能够共享。 | ||
| 搜索关键词： | 颗粒 自动控制 方法 系统 | ||
【主权项】：
一种颗粒自动控制方法，其特征在于，包括：获取晶圆表面或工艺环境中颗粒个数；设置颗粒个数的允许上限值；计算信号值，所述信号值与颗粒个数和颗粒个数的允许上限值有关联；根据信号值分析颗粒控制情况，在任意五个连续信号值中有至少四个为中间值，判定为颗粒失控。
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