[发明专利]一种大面积MEMS膜片型气体富集器有效
| 申请号： | 200910059654.0 | 申请日： | 2009-06-18 |
| 公开（公告）号： | CN101625345A | 公开（公告）日： | 2010-01-13 |
| 发明（设计）人： | 杜晓松;夏乐洋;蒋亚东;胡佳 | 申请（专利权）人： | 电子科技大学 |
| 主分类号： | G01N30/08 | 分类号： | G01N30/08;B81B7/02 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 610054四*** | 国省代码： | 四川;51 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种大面积MEMS膜片型气体富集器，包括一个硅基板、一个顶盖和设置在硅基板和顶盖之间的富集区，所述顶盖设置有进气口和出气口，其特征在于，所述富集区由多个富集单元构成，每个富集单元具有一个悬空膜片以及设置在悬空膜片上的薄膜加热器和吸附薄膜，在所述硅基板对应富集单元的下方设置为空腔。本发明通过将多个富集单元组合的方法，不仅兼有热容小、加热速率快等优点，而且有效地增加了吸附面积和吸附总量，提高了富集率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 大面积 mems 膜片 气体 富集 | ||
【主权项】：
1、一种大面积MEMS膜片型气体富集器，包括一个硅基板、一个顶盖和设置在硅基板和顶盖之间的富集区，所述顶盖设置有进气口和出气口，其特征在于，所述富集区由多个富集单元构成，每个富集单元具有一个悬空膜片以及设置在悬空膜片上的薄膜加热器和吸附薄膜，在所述硅基板对应富集单元的下方设置为空腔。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于电子科技大学，未经电子科技大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200910059654.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：温控装置、处理装置以及温控方法
- 下一篇：清洗装置及自动分析装置
