[发明专利]多晶硅生长视频监测装置有效
| 申请号： | 200910059827.9 | 申请日： | 2009-06-27 |
| 公开（公告）号： | CN101597060A | 公开（公告）日： | 2009-12-09 |
| 发明（设计）人： | 闵泽生;肖扬华;雷凯;熊向杰;李进兵 | 申请（专利权）人： | 东方电气集团东方汽轮机有限公司;四川东方电气自动控制工程有限公司 |
| 主分类号： | C01B33/03 | 分类号： | C01B33/03;C30B29/06;H04N7/18 |
| 代理公司： | 德阳三星专利事务所 | 代理人： | 刘克勤 |
| 地址： | 6182*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明公开一种多晶硅生长视频监测装置，该装置包括：摄像机，布置在多晶硅还原炉外围，其镜头对应还原炉的视窗，用于摄取硅芯图像；视频处理器，用于处理硅芯图像，计算硅芯直径；显示器，用于显示硅芯图像、硅芯直径计算值及各种数据。所述视频处理器具有视频采集模块，用于采集来自摄像机的图像数据；存储模块，用于存储采集数据、硅芯直径计算数学模型及输出数据；中央处理器，用于根据图像数据、硅芯直径计算数学模型计算硅芯直径。用本装置可连续准确地测量硅芯直径的实时数据，生成直径—时间生长曲线，再结合温度测试数据，进一步建立原料气加入量和加热电压随硅芯直径增长的数学模型，最终实现多晶硅生产的自动控制。 | ||
| 搜索关键词： | 多晶 生长 视频 监测 装置 | ||
【主权项】：
1.一种多晶硅生长视频监测装置，其特征在于，该装置包括：-摄像机，布置在多晶硅还原炉外围，其镜头对应还原炉的视窗，用于摄取硅芯图像；-视频处理器，用于处理硅芯图像，计算硅芯直径；-显示器，用于显示硅芯图像、硅芯直径计算值及各种数据。
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