[发明专利]ZnGeP2晶体的腐蚀剂与腐蚀方法

摘要

一种ZnGeP₂晶体的腐蚀剂，由冰醋酸、氢氟酸、硝酸、碘和纯净水配制而成，冰醋酸、氢氟酸、硝酸、纯净水的体积比为：冰醋酸∶氢氟酸∶硝酸∶纯净水＝1∶2∶2∶1，碘的质量∶冰醋酸体积＝4∶1。一种ZnGeP₂晶体的腐蚀方法，使用上述腐蚀剂，工艺步骤依次为：(1)腐蚀，将ZnGeP₂晶片浸入腐蚀剂中，在超声波振荡下于常压、室温腐蚀4～16分钟取出；(2)清洗，将从腐蚀剂中取出的ZnGeP₂晶片浸入反应终止液中摆动清洗终止反应，再用纯净水清洗至中性，所述反应终止液由质量浓度5％的NaOH和质量浓度为3％的Na₂S₂O₃配制而成，NaOH与Na₂S₂O₃的体积比＝1∶1；(3)干燥。

主权项

1、一种ZnGeP2晶体的腐蚀剂，其特征在于由冰醋酸、氢氟酸、硝酸、碘和纯净水配制而成，冰醋酸、氢氟酸、硝酸、纯净水的体积比为：冰醋酸∶氢氟酸∶硝酸∶纯净水＝1∶2∶2∶1，碘的质量∶冰醋酸体积＝4∶1，碘的质量单位为毫克、冰醋酸的体积单位为毫升，或碘的质量单位为克、冰醋酸的体积单位为升，所述冰醋酸的质量浓度≥99.5％，所述氢氟酸的质量浓度≥40％，所述硝酸的质量浓度为65～68％。