[发明专利]一种制备ZnO厚膜的方法有效

专利信息
申请号: 200910061183.7 申请日: 2009-03-20
公开(公告)号: CN101508457A 公开(公告)日: 2009-08-19
发明(设计)人: 张五星;黄云辉;薛丽红 申请(专利权)人: 华中科技大学
主分类号: C01G9/02 分类号: C01G9/02;G01N27/12
代理公司: 华中科技大学专利中心 代理人: 李 智
地址: 430074湖北*** 国省代码: 湖北;42
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摘要: 发明提供一种制备ZnO厚膜的方法,将片状碱式锌盐颗粒分散到水中形成前驱体料浆,采用微孔滤膜对前驱料浆进行过滤,使片状碱式锌盐颗粒在过滤的过程中自发组装成取向性碱式锌盐厚膜,再将微孔滤膜上的碱式锌盐厚膜转移到衬底上,最后对其加热分解得到ZnO厚膜。本发明以片状碱式锌盐为前驱体制备ZnO厚膜,制备的ZnO厚膜取向性好,厚度均匀,结构稳定。
搜索关键词: 一种 制备 zno 方法
【主权项】:
1、一种制备ZnO厚膜的方法,包括以下步骤:(1)制备片状碱式锌盐颗粒;(2)将片状碱式锌盐颗粒分散到水中形成前驱体料浆;(3)采用微孔滤膜对前驱料浆进行过滤,使片状碱式锌盐颗粒在过滤的过程中自发组装成取向性碱式锌盐厚膜;(4)将微孔滤膜上的碱式锌盐厚膜转移到衬底上;(5)对碱式锌盐厚膜加热分解得到ZnO厚膜。
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