[发明专利]一种运用扫描电子显微镜测量孔坑深度的方法无效
| 申请号： | 200910062754.9 | 申请日： | 2009-06-19 |
| 公开（公告）号： | CN101581571A | 公开（公告）日： | 2009-11-18 |
| 发明（设计）人： | 张彦文;吴立新;陈方玉;陈士华;许竹桃;周顺兵 | 申请（专利权）人： | 武汉钢铁（集团）公司 |
| 主分类号： | G01B11/22 | 分类号： | G01B11/22 |
| 代理公司： | 北京市德权律师事务所 | 代理人： | 王建国 |
| 地址： | 430083湖*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 一种运用扫描电子显微镜测量孔坑深度的方法，包括(1)确定孔坑上的测量点：A1和A2，A1位于孔坑的孔坑底部，A2位于孔坑外边缘上；(2)测量点A1至所述扫描电子显微镜的镜筒极靴的距离Z1，所述Z1值通过计算机软件将其显示输出；(3)测量点A2至所述扫描电子显微镜的镜筒极靴的距离Z2，所述Z2值通过计算机软件将其显示输出；(4)计算出孔坑深度h，h＝Z1-Z2。本发明具有在显微尺度对一般宏观上无法测量的微米级孔坑、刻痕等进行深度测量的效果。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 运用 扫描 电子显微镜 测量 深度 方法 | ||
【主权项】：
1、一种运用扫描电子显微镜测量孔坑深度的方法，包括以下步骤：(1)确定孔坑上的测量点：A1和A2，A1位于孔坑的孔坑底部，A2位于孔坑外边缘上；(2)测量点A1至所述扫描电子显微镜的镜筒极靴的距离Z1，所述Z1值通过计算机软件将其显示输出；(3)测量点A2至所述扫描电子显微镜的镜筒极靴的距离Z2，所述Z2值通过计算机软件将其显示输出；(4)计算出孔坑深度h，h＝Z1-Z2。
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