[发明专利]晶体碎料拉制硅芯的方法及简易装置无效
申请号: | 200910064105.2 | 申请日: | 2009-01-20 |
公开(公告)号: | CN101498033A | 公开(公告)日: | 2009-08-05 |
发明(设计)人: | 刘朝轩 | 申请(专利权)人: | 刘朝轩 |
主分类号: | C30B15/24 | 分类号: | C30B15/24;C30B29/06 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 471009河南省洛阳市西工区上*** | 国省代码: | 河南;41 |
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摘要: | 一种晶体碎料拉制硅芯的方法及简易装置,属于多晶硅拉制硅芯的一种方法;所述坩埚(5)的外部设有加热套(7),坩埚(5)与加热套(7)之间留有3-10公分的距离,在坩埚(5)的下部设有坩埚支撑体(8),所述坩埚(5)的内表面上部设置有导模支撑(4);所述用于对仔晶(2)降温的导模(3)结构,所述的导模(3)放置在导模支撑(4)上,导模为一平板结构,在导模(3)的中部设有向下延伸至接近坩埚(5)的仔晶提拉管;本发明所述晶体碎料拉制硅芯的方法及简易装置使用较为简单的坩埚、加热套及导模结构,使晶体碎料得以再次利用,而且省略了还原过程,不仅节约了企业成本,而且减少了晶体碎料的周转周期。 | ||
搜索关键词: | 晶体 拉制 方法 简易 装置 | ||
【主权项】:
1、一种晶体碎料拉制硅芯的简易装置,包括用于融化晶体碎料(6)的坩埚(5)和加热套(7);用于对仔晶(2)降温的导模(3)结构,其特征在于:所述用于融化晶体碎料(6)的坩埚(5)和加热套(7),包括坩埚(5)、加热套(7)、坩埚支撑体(8),所述坩埚(5)的外部设有加热套(7),坩埚(5)与加热套(7)之间留有3-10公分的距离,在坩埚(5)的下部设有坩埚支撑体(8),所述坩埚(5)的内表面上部设置有导模支撑(4);所述用于对仔晶(2)降温的导模(3)结构,所述的导模(3)放置在导模支撑(4)上,导模为一平板结构,在导模(3)的中部设有向下延伸至接近坩埚(5)的仔晶提拉管。
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