[发明专利]真空镀膜机集成控制系统无效
| 申请号： | 200910065935.7 | 申请日： | 2009-08-26 |
| 公开（公告）号： | CN101638775A | 公开（公告）日： | 2010-02-03 |
| 发明（设计）人： | 马文鹏;陈新;赵刚 | 申请（专利权）人： | 河南中光学集团有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/54 | 分类号： | C23C14/54;C23C14/24 |
| 代理公司： | 郑州红元帅专利代理事务所(普通合伙) | 代理人： | 季发军 |
| 地址： | 473000*** | 国省代码： | 河南;41 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种真空镀膜机集成控制系统，它包括硬件部分和软件部分，所述硬件部分包括计算机、实现与计算机连接功能的通讯卡和可编程控制器；所述软件部分包括真空系统、预熔系统和工艺系统，本发明采用模块化方式，选择工业计算机作为集成控制系统的核心，负责数据采集、处理以及发出执行命令和对执行结果的反馈显示，并记录信息数据，以便用户对蒸镀过程中的产品进行质量分析，选择可编程控制器作为动作的下层控制单元，执行底层动作以及互锁判断；选择通讯卡作为设备数据与命令联系的通道。用户设置更加灵活方便，按照镀膜人员操作习惯，搭建相应的功能模块，既保证了各个功能块的可扩展性，也保证了操作人员的方便性。 | ||
| 搜索关键词： | 真空镀膜 集成 控制系统 | ||
【主权项】：
1.一种真空镀膜机集成控制系统，其特征在于：它包括硬件部分和软件部分，所述硬件部分包括计算机、实现与计算机连接功能的通讯卡和可编程控制器；所述软件部分包括真空系统、预熔系统和工艺系统，所述真空系统采用集成控制技术，在同一界面上，对阀门的动作时间、上下烘烤选择、冷凝泵制冷、升温解冻、气体流量控制、压强自动控制、工转速度、温度设定进行集中控制。
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