[发明专利]超精密跨尺度原位纳米压痕刻划测试系统有效
| 申请号： | 200910066697.1 | 申请日： | 2009-03-27 |
| 公开（公告）号： | CN101520389A | 公开（公告）日： | 2009-09-02 |
| 发明（设计）人： | 赵宏伟;黄虎;邓金强;赵宏健 | 申请（专利权）人： | 吉林大学 |
| 主分类号： | G01N3/46 | 分类号： | G01N3/46;G01B11/16 |
| 代理公司： | 长春吉大专利代理有限责任公司 | 代理人： | 朱世林;王寿珍 |
| 地址： | 130012吉*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种集驱动、加载、检测、微纳米级力学性能测试、超精密刻划加工和原位观察为一体的超精密跨尺度原位纳米压痕刻划测试系统。该系统主要由沿X、Y轴方向精密定位的载物台、Z轴方向的调整机构和精密压入驱动单元、载荷信号和位移信号的检测单元、用于观测存储测试过程中材料变形、损伤状况的高分辨率数字显微成像系统组成；载物台、Z轴方向的调整机构和精密压入驱动单元均装配在底座上，高分辨率数字显微成像系统装在载物台上，检测金刚石工具头压入材料压力的精密力学传感器和检测X、Y方向载物台精密位移的传感器I装在载物台上，用于检测压入深度Z方向金刚石工具头精密位移的传感器II通过支架I安装在底座上。 | ||
| 搜索关键词： | 精密 尺度 原位 纳米 压痕 刻划 测试 系统 | ||
【主权项】：
1、一种超精密跨尺度原位纳米压痕刻划测试系统，其特征在于，主要由具有X、Y轴精密定位的载物台(11)、Z轴方向的宏动调整机构、精密压入驱动单元(15)、用于观测和存储力学测试过程中材料的变形、损伤状况的精密显微成像系统和数字成像系统组成，所述的载物台(11)、Z轴方向的宏动调整机构和精密压入驱动单元均固定在底座(12)上，精密显微成像系统和数字成像系统装在载物台(11)之上，用于检测金刚石刀具压入材料内部的压力的精密力学传感器(10)和用于检测X、Y方向载物台的微小位移的精密位移传感器I(7)装在载物台(11)上，用于检测压入深度Z方向金刚石刀具的运动位移的精密位移传感器II(23)通过支架I(13)安装在底座(12)上。
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