[发明专利]基于X射线激发光源的光谱仪

摘要

本发明涉及用于材料检测的光谱测试仪器，特别是一种基于X射线激发光源的光谱仪，包括X射线发生器、真空通道、限制狭缝、放置被测样品的旋转样品台、光纤、入射狭缝、衍射光栅、出射狭缝、凹面镜、透镜、光电倍增管和计算机处理系统；所述的X射线发生器发出的X-射线，经由真空通道出口的限制狭缝，照射到旋转样品台上的被测样品上，样品的被激发光通过光纤传导到所述的入射狭缝，再经衍射光栅分光后从出射狭缝射出，经所述的凹面镜和透镜聚集于光电倍增管，光电倍增管通过A/D转换器与计算机处理系统相连接。本光谱仪解决了目前的技术手段不能实现准确、完整的检测X射线激发下发光材料的发光光谱的技术难题。

主权项

1.一种基于X射线激发光源的光谱仪，其特征在于：包括X射线发生器(1)、控制快门(K)、真空通道(2)、限制狭缝(S1)、放置被测样品的旋转样品台(3)、光纤(4)、入射狭缝(S2)、衍射光栅(5)、出射狭缝(S3)、凹面镜(M)、透镜(L)、光电倍增管(6)和计算机处理系统(7)；所述的X射线发生器(1)发出的X-射线，通过控制快门(K)，进入真空通道(2)，经由真空通道出口的限制狭缝(S1)，照射到旋转样品台(3)上的被测样品上，样品的被激发光通过光纤(4)传导到所述的入射狭缝(S2)，再经衍射光栅(5)分光后从出射狭缝(S3)射出，经所述的凹面镜(M)和透镜(L)聚集于光电倍增管(6)，光电倍增管(6)通过A/D转换器与计算机处理系统(7)相连接。