[发明专利]一种高光束质量二维垂直腔面发射激光器列阵

摘要

一种高光束质量二维垂直腔面发射激光器列阵，属于半导体激光器件技术领域涉及的激光器列阵。要解决的技术问题：提供一种高光束质量二维垂直腔面发射激光器列阵。解决的技术方案包括面电极、中心区单一单元激光器件，第一圆环单元激光器件，第二圆环单元激光器件。列阵的中心为中心区单一单元激光器件，在其外侧的同心圆环上均匀分布第一圆环单元激光器件，在第一圆环外侧的同心圆环上均匀分布第二圆环单元激光器件，且第一、第二圆环上单元激光器件的个数相同，同一个圆环上单元激光器件的直径相等，不同圆环上单元激光器件的直径从内至外依次减小，中心区单元激光器件与处于每个同心圆环同一方位的单元激光器件在同一个半径上呈射线状排列。

主权项

1、一种高光束质量二维垂直腔面发射激光器列阵，包括面电极(3)；其特征在于还包括中心区单一单元激光器件(4)，第一圆环单元激光器件(5)，第二圆环单元激光器件(6)；该列阵的中心为中心区单一单元激光器件(4)，在其外侧的同心圆环上均匀分布第一圆环单元激光器件(5)，在第一圆环单元激光器件(5)的外侧的同心圆环上均匀分布第二圆环单元激光器件(6)，且第一、第二圆环上单元激光器件的个数相同，同一个圆环上单元激光器件的直径相等，不同圆环上单元激光器件的直径，从内至外依次减小，中心区的单元激光器件与处于每个同心圆环同一方位的单元激光器件在同一个半径上呈射线状排列；在本发明的技术方案中，激光器列阵的同心圆环个数、相邻圆环之间的距离根据不同的需求增加或减少，圆环的个数最小为1，最大为n(n为1、2、3……自然数)，每一个圆环上单元激光器件的个数、直径大小也可以根据需要设定，且单元激光器件的出射窗口形状可以是圆形或椭圆形或正方形或长方形等几何形状。