[发明专利]相位可控多频光纤干涉条纹投射装置

摘要

本发明涉及多频光纤干涉条纹、三维形貌测量技术，特别涉及一种相位可控多频光纤干涉条纹投射装置。为提供一种测量精度高并且稳定可靠的相位可控多频光纤干涉条纹投射装置，本发明采用的技术方案是：包括形成出射端7、出射端8投射的马赫-泽德干涉仪，还包括迈克尔逊干涉仪，迈克尔逊干涉仪产生的干涉信号由单模光纤耦合器6的非入射端传送给光电探测器10；光电探测器10将光信号转换为电信号传送给伺服系统11；伺服系统11用于通过比较实际相位与目标相位来控制压电陶瓷PZT驱动装置13驱动光纤拉伸器12改变单模光纤耦合器6两输出臂光程差。本发明主要用于三维形貌测量场合。

主权项

1、一种相位可控多频光纤干涉条纹投射装置，其特征是，包括有：激光器(1)和不同频率的另一激光器(2)、每个激光器分别对应配备有偏振控制器(3)和另一偏振控制器(4)，还包括WDM耦合器(5)、单模光纤耦合器(6)、光电探测器PD(10)、伺服控制系统(11)、光纤拉伸器(12)、压电陶瓷PZT驱动装置(13)，所述激光器(1)、另一激光器(2)发射的激光分别经偏振控制器(3)、另一偏振控制器(4)后耦合进WDM耦合器(5)，所述WDM耦合器(5)与单模光纤耦合器(6)相连，不同频率的激光经单模光纤耦合器(6)分光后分别经光纤由出射端(7)、另一出射端(8)投射，前述本发明组成部分构成马赫-泽德干涉仪，并在两出射端发生杨氏双孔干涉从而将多频干涉条纹投射到光屏(14)处，并由光电探测器或摄象机接收；所述单模光纤耦合器(6)与出射端(7)和另一出射端(8)的反射光路构成迈克尔逊干涉仪，迈克尔逊干涉仪产生的干涉信号由单模光纤耦合器(6)的非入射端(9)传送给光电探测器(10)；光电探测器(10)将光信号转换为电信号传送给伺服系统(11)；伺服系统(11)用于通过比较实际相位与目标相位来控制压电陶瓷PZT驱动装置(13)驱动光纤拉伸器(12)改变单模光纤耦合器(6)两输出臂光程差。