[发明专利]波长色散X荧光光谱仪的弯面晶体分光装置及其工作方法

摘要

一种波长色散X荧光光谱仪的弯面晶体分光装置，包括前狭缝导管、分光盒体、晶体托架、后狭缝导管及探测器；工作方法：将晶体薄膜粘贴在经计算符合全聚焦和对数螺线特定曲线的晶体托架上固定在分光盒体内，调整晶体托架的角度使之与理论曲线一致；前狭缝导管、分光盒体内腔、晶体和晶体托架、后狭缝导管构成分光光路；将探测器与后狭缝导管连接，对分光器分选出的某元素的特征X射线进行定量检测。优越性：楔形内腔结构和后开口的结构设计，减少X射线散射的面的数量，有利于降低仪器检测数据的背景信号的强度，减小分光器的内外形尺寸，有利于真空密封和分光器的布置；分光器与真空室间的密封为双重径向轴密封，提高分光器与真空室的定位精度。

主权项

一种波长色散X荧光光谱仪的弯面晶体分光装置，其特征在于它包括前狭缝导管、分光盒体、晶体托架、后狭缝导管及探测器；分光盒体的入射端即光路的入射口安装有前狭缝导管，分光盒体的出射端即光路的出射口密封安装有后狭缝导管；所说的晶体托架的光路轴心依销轴固定在分光盒体内，晶体托架上有晶体薄膜，晶体托架的光路轴心以销轴为旋转轴心；所说的后狭缝导管与探测器呈密封安装。