[发明专利]一种液晶空间光调制器多参数的干涉式双成像测量装置

摘要

一种液晶空间光调制器多参数的干涉式双成像测量装置，它涉及光电测试技术领域。本发明解决了现有液晶空间光调制器特性参数测量装置无法满足多参数测量要求的问题。本发明在泰曼-格林干涉光路中通过引入双成像系统将双光路干涉与共路干涉融合到一个装置中，输入光经扩束镜、起偏器入射至第一分光棱镜，透射光被液晶空间光调制器调制并反射，反射光经快门被反射镜反射，两路光经第一分光棱镜和检偏器后经第二分光棱镜进入第二成像系统；透射光经液晶空间光调制器反射后，也可直接经第一分光棱镜、检偏器和第二分光棱镜进入第一成像系统，利用双成像系统分别探测相位与强度实现多参数测量。本发明适用于液晶空间光调制器多参数测量过程。

主权项

1、一种液晶空间光调制器多参数的干涉式双成像测量装置，它包括扩束镜(2)、起偏器(3)、第一分光棱镜(4)、反射镜(6)、液晶空间光调制器(7)、检偏器(8)、光电二极管(12)和CCD探测器(16)，其特征是：一种液晶空间光调制器多参数的干涉式双成像测量装置还包括可开关快门(5)、第二分光棱镜(9)、第一成像透镜(10)、针孔(11)、二维微动台(13)、第二成像透镜(14)、光阑(15)和计算机(17)；系统输入的激光光束入射至扩束镜(2)，经扩束镜(2)扩束整形后入射至起偏器(3)，经起偏器(3)偏振后入射至第一分光棱镜(4)，所述第一分光棱镜(4)将偏振后的光束分成第一透射光和第一反射光，所述第一透射光入射至液晶空间光调制器(7)的光输入端，经所述液晶空间光调制器(7)反射后沿第一透射光的光路反向入射至第一分光棱镜(4)；所述第一反射光经可开关快门(5)入射至反射镜(6)，经所述反射镜(6)反射后沿第一反射光的光路反向入射至第一分光棱镜(4)，反射镜(6)反射的反射光经第一分光棱镜(4)的透射后与液晶空间光调制器(7)反射的反射光经第一分光棱镜(4)的反射后汇聚并入射至检偏器(8)，并经检偏器(8)偏振后入射至第二分光棱镜(9)，第二分光棱镜(9)将所述偏振后的光分为第二透射光和第二反射光，所述第二透射光经第一成像透镜(10)聚焦至针孔(11)，经针孔(11)入射至光电二极管(12)的光输入端；所述第二反射光经第二成像透镜(14)聚焦至光阑(15)，经所述光阑(15)入射到CCD探测器(16)的光输入端，所述CCD探测器(16)信号输出端与计算机(17)的第二信号输入端连接；光电二极管(12)的电信号输出端与计算机(17)的第一信号输入端连接，光电二极管(12)固定在二维微动台(13)上，计算机(17)的第二控制信号输出端与二维微动台(13)的控制信号输入端连接；所述液晶空间光调制器(7)的控制信号输入端与计算机(17)的第一控制信号输出端连接，所述起偏器(3)的透光轴和检偏器(8)的透光轴均可调。