[发明专利]基于摆动镜和透射光栅的光谱仪无效
申请号: | 200910072117.X | 申请日: | 2009-05-25 |
公开(公告)号: | CN101551271A | 公开(公告)日: | 2009-10-07 |
发明(设计)人: | 申岩;徐晓轩;俞贞妮;武忠臣 | 申请(专利权)人: | 哈尔滨工业大学 |
主分类号: | G01J3/00 | 分类号: | G01J3/00;G01J3/02;G01J3/18 |
代理公司: | 哈尔滨市松花江专利商标事务所 | 代理人: | 牟永林 |
地址: | 150001黑龙江*** | 国省代码: | 黑龙江;23 |
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摘要: | 基于摆动镜和透射光栅的光谱仪,属于一种光谱仪。本发明的目的是解决目前用于工业流程在线检测用的光谱测量仪器在1000nm-1800nm的近红外波段为达到一定的分辨率会导致成本高、体积大的问题。本发明的平面透射光栅的后表面上有光栅刻痕,通过入射光纤的光束入射到双凸透镜内,经双凸透镜透射得到平行光,所述平行光入射到平面透射光栅的前表面,经前表面到达后表面被光栅刻痕第一次分光后入射到摆动反射镜内,经摆动反射镜反射后的光入射到平面透射光栅的后表面,被光栅刻痕第二次分光后再经过前表面入射到凹面反射镜内,经凹面反射镜反射后的光线被近红外探测器的输入端接收。本发明用作光谱分析仪器。 | ||
搜索关键词: | 基于 摆动 透射 光栅 光谱仪 | ||
【主权项】:
1、一种基于摆动镜和透射光栅的光谱仪,其特征在于它由入射光纤(1)、双凸透镜(2)、平面透射光栅(3)、摆动反射镜(4)、凹面反射镜(5)和近红外探测器(6)组成,平面透射光栅(3)的后表面上有光栅刻痕,通过入射光纤(1)的光束入射到双凸透镜(2)内,经双凸透镜(2)透射得到平行光,所述平行光入射到平面透射光栅(3)的前表面,经前表面到达后表面被光栅刻痕第一次分光后入射到摆动反射镜(4)内,经摆动反射镜(4)反射后的光入射到平面透射光栅(3)的后表面,被光栅刻痕第二次分光后再经过前表面入射到凹面反射镜(5)内,经凹面反射镜(5)反射后的光线被近红外探测器(6)的输入端接收;平面透射光栅(3)垂直于平面坐标系的X轴,入射光纤(1)和双凸透镜(2)的轴心线相对于X轴的夹角A为20度,凹面反射镜(5)的轴心线相对于X轴的夹角C为40度,近红外探测器(6)的轴心线相对于X轴的夹角B为25度,摆动反射镜(4)相对于Y轴的摆动角度范围为-15°至15°。
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