[发明专利]大口径凸非球面两轴拼接测量装置有效
| 申请号： | 200910072943.4 | 申请日： | 2009-09-22 |
| 公开（公告）号： | CN101666628A | 公开（公告）日： | 2010-03-10 |
| 发明（设计）人： | 谭久彬;王伟波;刘俭 | 申请（专利权）人： | 哈尔滨工业大学 |
| 主分类号： | G01B11/24 | 分类号： | G01B11/24;G01B9/02;G01M11/02 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 150001黑龙江*** | 国省代码： | 黑龙江;23 |
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| 摘要： | 大口径凸非球面两轴拼接测量装置属于光学检测领域；包括：隔振基座、光学波面干涉仪；还包括：安装在隔振基座上的立式超精密气浮回转台和卧式超精密回转轴；卧式超精密回转轴上固定有Z型悬臂梁，其末端固定有直线导轨，直线导轨上配置光学波面干涉仪；立式超精密气浮回转台的回转轴线与卧式超精密回转轴的回转轴线正交，干涉仪光轴通过其交点；被测非球面的光轴与立式超精密气浮回转台的回转轴线重合，且非球面近球心点、干涉仪的测量波前焦点、卧式超精密回转轴的回转轴线与立式超精密气浮回转台的回转轴线的交点，三点重合或或立体同心度非常小；该方案机构简单，测量链短，利用回转运动的精度优势，可实现大口径凸非球面的高精度检测。 | ||
| 搜索关键词： | 口径 球面 拼接 测量 装置 | ||
【主权项】：
1、一种大口径凸非球面两轴拼接测量装置，包括隔振基座(1)、光学波面干涉仪(5)，其特征在于：在隔振基座(1)上安装有立式超精密气浮回转台(6)和卧式超精密回转轴(2)，卧式超精密回转轴(2)上固定有Z型悬臂梁(3)，Z型悬臂梁(3)末端固定有直线导轨(4)，直线导轨(4)上配置有光学波面干涉仪(5)；立式超精密气浮回转台(6)的回转轴线与卧式超精密回转轴(2)的回转轴线互为正交，且立式超精密气浮回转台(6)的回转轴线、卧式超精密回转轴(2)的回转轴线、光学波面干涉仪(5)的光轴相交于一点。
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