[发明专利]微致动开关无效
| 申请号： | 200910074022.1 | 申请日： | 2009-03-24 |
| 公开（公告）号： | CN101510486A | 公开（公告）日： | 2009-08-19 |
| 发明（设计）人： | 杨卫;张文栋;李艳;王聪;闫俊杰;郭涛;石云波;李杰;秦丽;马喜宏;鲍爱达 | 申请（专利权）人： | 中北大学 |
| 主分类号： | H01H59/00 | 分类号： | H01H59/00;B81B7/02 |
| 代理公司： | 山西太原科卫专利事务所 | 代理人： | 朱 源;骆 洋 |
| 地址： | 030051山*** | 国省代码： | 山西;14 |
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| 摘要： | 本发明涉及MEMS器件，具体是一种基于凝胶纤维与微胶囊技术的微致动开关。进一步了研发高性能微致动开关，包括开关主体，开关主体包含两侧分别设置有支撑体的底座、通过底座一侧支撑体支悬设置的悬臂梁，悬臂梁下方底座上设有底电极，悬臂梁下表面设有顶电极，底座另一侧支撑体上支悬固定有凝胶纤维，凝胶纤维的自由端固定有置于悬臂梁自由端正下方的滑块，凝胶纤维外涂敷有内为酸性介质的微胶囊涂层；开关主体还包括设置于底座上的：通过弹性梁支悬设置质量块的支撑架、分别位于滑块两侧的两开关柱，两开关柱顶面设有电极，悬臂梁自由端下表面设有电极。结构合理、紧凑，可靠性高，应用范围广，再一次验证了将非硅材料应用于MEMS器件构成中的可行性。 | ||
| 搜索关键词： | 微致动 开关 | ||
【主权项】：
1、一种微致动开关，其特征在于：包括在半导体衬底上用微机电MEMS加工工艺加工出的开关主体，所述开关主体包含两侧分别设置有支撑体(1、2)的底座(3)、通过底座(3)一侧支撑体(1)支悬设置于底座(3)正上方的悬臂梁(4)，悬臂梁(4)下方底座(3)上设有与底座(3)绝缘的底电极(5)，且悬臂梁(4)下表面与底电极(5)正对处设有与悬臂梁(4)绝缘的顶电极(6)，底座(3)另一侧支撑体(2)上支悬固定有凝胶纤维(7)，凝胶纤维(7)的自由端固定有滑块(8)，且滑块(8)置于悬臂梁(4)自由端的正下方，凝胶纤维(7)外涂敷有内为酸性介质的微胶囊涂层；开关主体还包括设置于底座(3)上的：用于在凝胶纤维(7)上方通过弹性梁(17)支悬设置质量块(9)的支撑架(10)、以及分别位于滑块(8)两侧悬臂梁(4)自由端下方的两开关柱(11、12)，且两开关柱(11、12)的顶面设有电极(13、14)，悬臂梁(4)自由端的下表面设有用于短接两开关柱(11、12)顶面电极(13、14)的电极(15)，开关柱(11、12)顶面电极(13、14)的位置低于滑块(8)与悬臂梁(4)下表面电极(15)的接触面。
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