[发明专利]一种狭缝放电等离子体动态均匀性的检测方法无效
| 申请号： | 200910074703.8 | 申请日： | 2009-06-10 |
| 公开（公告）号： | CN101576596A | 公开（公告）日： | 2009-11-11 |
| 发明（设计）人： | 董丽芳;张彦召 | 申请（专利权）人： | 河北大学 |
| 主分类号： | G01R31/00 | 分类号： | G01R31/00;G01N21/66;G01J1/42 |
| 代理公司： | 石家庄汇科专利商标事务所 | 代理人： | 王 琪 |
| 地址： | 071002河*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | 本发明涉及到一种狭缝放电等离子体动态均匀性的检测方法，其特征包括如下步骤：A.一个狭缝放电装置产生放电等离子体；B.放电等离子体发出的光经透镜成像后，用带有孔径为a的光阑的接收屏接收；C.光阑后设置光电倍增管，来探测等离子体区域面积的发光信号，光信号转换成电信号后由数字示波器记录；D.根据记录的光信号，计算在放电电压每半周期内，放电的次数，分析发光的等离子体区的放电丝数与放电面积的关系来确定等离子体是否达动态的均匀。本发明的检测方法对微等离子体在工业方面的应用具有重要意义。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 狭缝 放电 等离子体 动态 均匀 检测 方法 | ||
【主权项】：
1、一种狭缝放电等离子体动态均匀性的检测方法，其特征包括如下步骤：A、一个狭缝放电装置产生放电等离子体；B、放电等离子体发出的光经透镜(7)成像(8)后，用带有孔径为a的光阑的接收屏(9)接收；C、光阑后设置光电倍增管(10)，来探测等离子体区域面积的发光信号，光信号转换成电信号后由数字示波器(12)记录；所述的离子体区域面积S＝L×a/A，其中S：离子体区域面积，a：光阑孔径，A：成像放大倍数，L：等离子体区的宽度；D、根据记录的光信号，计算在放电电压每半周期内，放电的次数，分析发光的等离子体区的放电丝数与放电面积的关系来确定等离子体是否达动态的均匀。
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