[发明专利]超声扫描显微镜C扫描TOF图像的构建方法

摘要

本发明提供了超声扫描显微镜C扫描TOF图像的构建方法，涉及超声扫描显微镜设备对采集到的数据处理技术领域。具有以下步骤：a、设置C扫描数据门，以确定检测区域和阈值电压：b、扫描并发射超声波，采用的光栅尺同步位置触发产生超声波提取出每一个点在数据门区域中返回信号到达峰值的时间，即峰值时间；c、对该点的峰值时间做数据处理；d、将每一个点对应的灰度值输出到屏幕上构建灰度图像。本发明解决了现有技术中软件触发位置不准确的缺点，具有构建图像位置准确、精度高等优点。可解决算法对被测目标表面平面度及放置要求较高、获得峰值到达时间不准确的缺点；提高了图像构建速度；构建的扫描图像清晰，可以详细的反映器件深度方向的特征。

主权项

一种超声扫描显微镜C扫描TOF图像的构建方法，其特征在于具有以下步骤：a、设置C扫描数据门，以确定检测区域和阈值电压；b、扫描并发射超声波：扫描过程中对上述的每个位置点发射超声波，采用的光栅尺同步位置触发产生超声波：即采用光栅尺作为反馈装置，当光栅尺计数达到预设置值时自动硬件触发产生超声波，并接收反射回波，提取出每一个点在数据门区域中返回信号到达峰值的时间，即峰值时间；c、对该点的峰值时间做数据处理，将峰值时间按照一定的方法转换成对应的灰度值：如果正负峰值均找到，比较正峰值绝对值和负峰值绝对值，取较大的那个返回信号峰值到达时间值为峰值时间；如果仅正(负)峰值找到，将该峰值的到达时间作为峰值时间；如果正负峰值都没有找到，则直接将该点灰度值赋值为0；d、将每一个点对应的灰度值输出到屏幕上构建灰度图像。