[发明专利]基于小口径圆形哈特曼-夏克波前传感器的拼接检测装置有效
申请号: | 200910078256.3 | 申请日: | 2009-02-23 |
公开(公告)号: | CN101493375A | 公开(公告)日: | 2009-07-29 |
发明(设计)人: | 饶长辉;郑翰清;姜文汉;饶学军;杨金生;樊志华 | 申请(专利权)人: | 中国科学院光电技术研究所 |
主分类号: | G01M11/00 | 分类号: | G01M11/00 |
代理公司: | 北京科迪生专利代理有限责任公司 | 代理人: | 李新华;徐开翟 |
地址: | 610209*** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | 基于小口径圆形哈特曼-夏克波前传感器的拼接检测装置,其特征在于:包含有哈特曼-夏克波前传感器、x-z二维电控平移台、步进电机控制器、计算机、待测镜面及数据采集卡;哈特曼-夏克波前传感器位于待测镜面之后对待测镜面进行检测,并且在哈特曼-夏克波前传感器形成光斑点阵,由数据采集卡采集上述光斑数据并传输到计算机中存储;计算机向步进电机控制器发出指令,控制二维电控平移台沿x轴与z轴移动对待测镜面进行扫描检测,利用数据采集卡依次采得各帧子波面处的光斑数据,然后利用质心算法、拼接方法及复原算法得到待测波面。采用本发明装置及方法,通过理论分析忽略了离焦误差项改进了公式;且消除了平移误差此项原理误差,提高了拼接精度并降低了拼接参数求解计算复杂度。 | ||
搜索关键词: | 基于 小口径 圆形 哈特曼 夏克波前 传感器 拼接 检测 装置 | ||
【主权项】:
1、基于小口径圆形哈特曼-夏克波前传感器的拼接检测装置,其特征在于:包含有哈特曼-夏克波前传感器(8)、x-z二维电控平移台(9)、步进电机控制器(10)、计算机(11)、待测镜面(12)及数据采集卡(13);哈特曼-夏克波前传感器(8)对待测镜面(12)的某个区域进行检测,并且在哈特曼-夏克波前传感器(8)形成光斑点阵,由数据采集卡(13)采集上述光斑数据并传输到计算机(11)中存储;计算机(11)向步进电机控制器(10)发出指令,控制二维电控平移台(9)沿x轴与z轴移动对待测镜面(12)进行扫描检测,利用数据采集卡(13)依次采得各帧子波面处的光斑数据,然后利用质心算法、拼接方法及复原算法得到待测波面。
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