[发明专利]基于周期极化铁电晶体的光电集成电场传感器无效
| 申请号： | 200910078519.0 | 申请日： | 2009-02-25 |
| 公开（公告）号： | CN101493481A | 公开（公告）日： | 2009-07-29 |
| 发明（设计）人： | 李欢;曾嵘;王博;余占清;何金良 | 申请（专利权）人： | 清华大学 |
| 主分类号： | G01R15/24 | 分类号： | G01R15/24;G01R29/12 |
| 代理公司： | 北京清亦华知识产权代理事务所 | 代理人： | 廖元秋 |
| 地址： | 1000*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种基于周期极化铁电晶体的光电集成电场传感器，属于电场测量技术领域。本发明提出的基于周期极化铁电晶体的光电集成电场传感器，包括具有电光效应的周期极化铁电晶片，在该晶片表面一个或多个极化周期内形成的沿着平行于畴壁的方向的马赫-曾德尔干涉仪结构的光波导，该光波导包括输入段、输出段及由两个平行臂组成的中间段；所述光波导的两臂分别处于所述一个或多个极化周期中极化方向相反的区域内。在所述周期极化铁电晶片中，极化周期布满整个铁电晶片。本发明可以明显地改进现有的光电集成电场传感器的温度稳定性，而且还进一步减小了电场传感器对待测电场的影响，同时继承了现有光电集成电场传感器的其它所有优点。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 周期 极化 电晶体 光电 集成 电场 传感器 | ||
【主权项】：
1、一种基于周期极化铁电晶体的光电集成电场传感器，其特征在于，该传感器包括具有电光效应的周期极化铁电晶片，在该晶片表面一个或多个极化周期内形成的沿着平行于畴壁的方向的马赫-曾德尔干涉仪结构的光波导，该光波导包括输入段、输出段及由两个平行臂组成的中间段；所述光波导的两臂分别处于所述一个或多个极化周期中极化方向相反的区域内；在所述周期极化铁电晶片中，极化周期布满整个铁电晶片，全部极化周期沿所述光波导的垂直方向排列，该每个极化周期的宽度相等或不相等。
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