[发明专利]一种基于Fringe Zernike多项式的光机热集成分析方法无效
| 申请号： | 200910078804.2 | 申请日： | 2009-03-03 |
| 公开（公告）号： | CN101504685A | 公开（公告）日： | 2009-08-12 |
| 发明（设计）人： | 仲崇峰;亓波;刘顺发;吴高峰 | 申请（专利权）人： | 中国科学院光电技术研究所 |
| 主分类号： | G06F17/50 | 分类号： | G06F17/50;G06F17/10 |
| 代理公司： | 北京科迪生专利代理有限责任公司 | 代理人： | 李新华;徐开翟 |
| 地址： | 610209*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 一种基于Fringe Zernike多项式的光机热集成分析方法，其特征在于包括以下步骤：(1)将光学系统的有限元结果进行坐标变换和数据处理，转化为适合光学分析软件的数据格式；(2)设置Fringe Zernike多项式项数并求解多项式，进行面型拟合，将拟合结果写入dat文件；(3)利用dat文件作为Zernike拟合与光学分析软件的接口，实现对光学系统进行光机热集成分析。本发明方法简单，更易技术实现；能够根据求解的需要，通过改变输入参数任意设置Fringe Zernike多项式项数进行面型拟合，并可对其进行无限项求解，具有很强的灵活性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 fringe zernike 多项式 光机热 集成 分析 方法 | ||
【主权项】：
1、一种基于Fringe Zernike多项式的光机热集成分析方法，其特征在于包括以下步骤：(1)将光学系统的有限元结果进行坐标变换和数据处理，转化为适合光学分析软件的数据格式；(2)设置Fringe Zernike多项式项数并求解多项式，进行面型拟合，将拟合结果写入dat文件；(3)利用dat文件作为Zernike拟合与光学分析软件的接口，实现对光学系统进行光机热集成分析。
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