[发明专利]扫描线序号的标注方法和掩膜板有效
| 申请号： | 200910079479.1 | 申请日： | 2009-03-12 |
| 公开（公告）号： | CN101833201A | 公开（公告）日： | 2010-09-15 |
| 发明（设计）人： | 吕敬 | 申请（专利权）人： | 北京京东方光电科技有限公司 |
| 主分类号： | G02F1/1362 | 分类号： | G02F1/1362;H01L21/84;G03F1/00;G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京中博世达专利商标代理有限公司 11274 | 代理人： | 申健 |
| 地址： | 100176 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明实施例公开了一种扫描线序号的标注方法和掩膜板，涉及液晶显示器技术领域，解决了当液晶面板的尺寸较大时，无法通过数据扫描线的序号准确定位像素点的问题。在对光刻胶进行曝光时，在扫描线对应位置的旁边形成线编号的光刻胶保留图案、以及光刻胶保留区域；在所述光刻胶保留区域打码形成区域编号的光刻胶保留图案；对经过曝光和打码的光刻胶进行显影处理，并刻蚀掉显影处理后露出的金属；剥离剩余的光刻胶以露出线编号和区域编号。本发明实施例主要用在液晶面板的生产中，特别是用在大尺寸的液晶面板生产。 | ||
| 搜索关键词： | 扫描 序号 标注 方法 掩膜板 | ||
【主权项】：
一种扫描线序号的标注方法，其特征在于，包括：(1)在对光刻胶进行曝光时，在扫描线对应位置的旁边形成线编号的光刻胶保留图案、以及光刻胶保留区域；(2)在所述光刻胶保留区域打码形成区域编号的光刻胶保留图案；(3)对经过曝光和打码的光刻胶进行显影处理，并刻蚀掉显影处理后露出的金属；(4)剥离剩余的光刻胶以露出线编号和区域编号。
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