[发明专利]柔性MEMS减阻蒙皮及其制造方法

摘要

本发明公开了一种柔性MEMS减阻蒙皮及其制造方法，利用微细驻留气泡实现减阻，属于微型机械和流体动力学领域，用于减小水面及水下航行体行进中的表面摩擦阻力。蒙皮上表面是布满微凹坑阵列的表层，并经表面浸润性处理。微凹坑底部有附着在绝缘层上的梳状微细平面金属电解阳极和电解阴极。绝缘层下方是柔性衬底，电极引线端子位于蒙皮下表面，表层和衬底均采用柔性材料制作。减阻蒙皮整体厚度为亚毫米量级，呈柔性薄膜形态，其制造方法为与柔性MEMS技术相兼容的MEMS微细加工工艺。本发明贴覆于航行体外表面，由航行体供电。通过电解水反应形成稳定驻留于微凹坑内的微气泡覆盖航行体的绝大部分表面，实现减小表面摩擦阻力的功能。

主权项

1. 一种柔性MEMS减阻蒙皮，其特征在于：柔性MEMS减阻蒙皮主要由衬底(1)、绝缘层(2)、表层(3)、金属电极和引线构成，蒙皮上表面是表层(3)，下表面是衬底(1)，表层(3)是采用柔性材料制备的柔性材料薄膜，其上开孔，形成微凹坑(6)阵列，表层(3)下方，在每个微凹坑(6)的底部有包括电解阳极(4)和电解阴极(5)的交错排列微细平面梳状电极，阳极引线端子(7)和阴极引线端子(8)通过内部连线分别与每个微凹坑(6)内的电解阳极(4)和电解阴极(5)导通，电解电极、引线端子及其之间的内部连线均附着在绝缘层(2)上，绝缘层(2)下方是衬底(1)，衬底(1)是柔性材料制备的柔性材料薄膜，在对应于阳极引线端子(7)和阴极引线端子(8)的部位，衬底(1)和绝缘层(2)被去除，阳极引线端子(7)和阴极引线端子(8)暴露于蒙皮下表面，是连接外部供电导线的焊接部位。