[发明专利]基于恒流源的剂量率远程在线自动测试系统及方法无效
申请号: | 200910080056.1 | 申请日: | 2009-03-18 |
公开(公告)号: | CN101839989A | 公开(公告)日: | 2010-09-22 |
发明(设计)人: | 卜建辉;刘梦新;刘刚;卢烁今;韩郑生 | 申请(专利权)人: | 中国科学院微电子研究所 |
主分类号: | G01T1/02 | 分类号: | G01T1/02 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人: | 周国城 |
地址: | 100029 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明公开了一种基于恒流源的剂量率远程在线自动测试系统,包括:主控计算机,用于运行图形监控测试程序,向数据采集卡输出控制信号,并接收数据采集卡返回的待测SOI PMOS源端电压测试结果,然后对该测试结果进行计算得到剂量率并显示;数据采集卡,用于根据接收自主控计算机的控制信号执行数据采集,通过测试开发板的数据采集模块采集DUT开发板中待测SOI PMOS的源端电压并返回给主控计算机;测试开发板,用于产生30μA的恒定电流,然后将该30μA的恒定电流通过电缆线输出给辐照源内DUT开发板,同时用于对DUT开发板中待测SOI PMOS的源端电压进行采集;辐照源内DUT开发板,用于将接收的30μA的恒定电流施加至待测SOI PMOS上。 | ||
搜索关键词: | 基于 恒流源 剂量率 远程 在线 自动 测试 系统 方法 | ||
【主权项】:
一种基于恒流源的剂量率远程在线自动测试系统,其特征在于,该系统包括:主控计算机,用于运行图形监控测试程序,向数据采集卡输出控制信号,并接收数据采集卡返回的待测SOI PMOS源端电压测试结果,然后对该测试结果进行计算得到剂量率并显示;数据采集卡,用于根据接收自主控计算机的控制信号执行数据采集,通过测试开发板的数据采集模块采集DUT开发板中待测SOI PMOS的源端电压并返回给主控计算机;测试开发板,用于产生30μA的恒定电流,然后将该30μA的恒定电流通过电缆线输出给辐照源内DUT开发板,同时用于对DUT开发板中待测SOI PMOS的源端电压进行采集;以及辐照源内DUT开发板,用于将接收的30μA的恒定电流施加至待测SOI PMOS上。
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