[发明专利]破碎基板的装置和方法有效
| 申请号： | 200910080093.2 | 申请日： | 2009-03-18 |
| 公开（公告）号： | CN101837307A | 公开（公告）日： | 2010-09-22 |
| 发明（设计）人： | 缪红林;张建 | 申请（专利权）人： | 北京京东方光电科技有限公司 |
| 主分类号： | B02C1/00 | 分类号： | B02C1/00;B02C23/00;B08B5/02 |
| 代理公司： | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人： | 刘芳 |
| 地址： | 100176 北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种破碎基板的装置和方法。该装置包括封闭室、设置于所述封闭室内壁上的至少一层支撑装置、穿设于所述封闭室顶部的垂直杆、设置于所述封闭室上方的第一驱动装置和与所述封闭室底部连通的漏斗装置；每层所述支撑装置用于支撑至少一个基板；所述第一驱动装置驱动所述垂直杆向下移动击碎所述每层支撑装置支撑的基板，形成的基板碎片落入所述漏斗装置，所述漏斗装置使所述基板碎片到达所述封闭室所在的净化间之外。本发明的技术方案提高了破碎基板的效率以及降低了因Particle污染而产生的产品不良。 | ||
| 搜索关键词： | 破碎 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种破碎基板的装置，其特征在于，包括封闭室、设置于所述封闭室内壁上的至少一层支撑装置、穿设于所述封闭室顶部的垂直杆、设置于所述封闭室上方的第一驱动装置和与所述封闭室底部连通的漏斗装置；每层所述支撑装置用于支撑至少一个基板；所述第一驱动装置驱动所述垂直杆向下移动击碎所述每层支撑装置支撑的基板，形成的基板碎片落入所述漏斗装置，所述漏斗装置使所述基板碎片到达所述封闭室所在的净化间之外。
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