[发明专利]贴膜机除屑装置无效
申请号: | 200910081032.8 | 申请日: | 2009-03-30 |
公开(公告)号: | CN101719446A | 公开(公告)日: | 2010-06-02 |
发明(设计)人: | 姚纯 | 申请(专利权)人: | 四川虹欧显示器件有限公司 |
主分类号: | H01J9/24 | 分类号: | H01J9/24 |
代理公司: | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人: | 余刚 |
地址: | 100085 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明提供了一种贴膜机除屑装置,包括:第一电极,其位于贴膜机的旋转真空吸桶内;第二电极,其位于贴膜机的切割刀片的导轨上,其极性与第一电极极性相反;直流电源,其用于给第一电极和第二电极供电。本发明通过形成正、负电极,采用静电吸引的方法,使切割后产生的细屑被吸附在电极上,从而不会附着在基板上而在贴膜时被压在膜下,克服了现有技术中障蔽用DFR膜由于材料性质的不同,切割后飞溅的细屑会落在基板上,而后被压在DFR膜下,细屑处在曝光后形成较大缺陷的问题。 | ||
搜索关键词: | 贴膜机 装置 | ||
【主权项】:
一种贴膜机除屑装置,其特征在于,包括:第一电极,其位于所述贴膜机的旋转真空吸桶内;第二电极,其位于所述贴膜机的切割刀片的导轨上,其极性与所述第一电极相反;以及电源,其用于给所述第一电极和所述第二电极供电。
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