[发明专利]含银偏振玻璃的制备方法

摘要

一种含银偏振玻璃的制备方法，属于光纤通信、光电显示领域。在制备含银偏振玻璃时，首先，在玻璃片上喷涂一层SiO₂，经切割研磨后，通过光学模和光刻使其表面出现微槽。光刻凹槽的宽度及间隔由均匀相位掩模板决定，然后，对微槽进行喷涂附着卤化银，最后，利用等离子技术制作一层SiO₂玻璃材料，将微槽覆盖，再次研磨得到含银偏振玻璃。本发明不同于以往常见的溶胶-凝胶含银偏振玻璃的制作方法，工艺流程容易控制，产品的工作性能稳定，生产周期较短，而且采用研磨抛光、刻槽以及银粒子喷涂附着技术，不仅实现简便，更能达到比较高的几何精度。总体而言，本发明简单实用，易于实现，具有较强的可重复性和灵活性。

主权项

1. 一种含银偏振玻璃的制备方法，其特征在于：该制备方法的步骤：步骤1，SiCl4和O2按摩尔比1∶1放入原料混合室(6)内，SiCl4的粒子直径≤40μm，将玻璃片放置距离超音速喷管(8)的出口5～25mm处；步骤2，打开工作气体He，气体压力为1.5～3.5MPa，He气分为两路，其中一路进入原料混合室(6)内，将混合的SiCl4和O2送入喷枪(7)；另外一路经预加热装置(9)预热，预热温度为100～600℃，驱动喷枪(7)工作，喷枪喷出的O2和SiCl4粒子，经超音速喷管(8)并以500～1000m/s喷出，将反应生成的SiO2淀积在玻璃片上，当淀积的SiO2的厚度达到5mm时停止喷涂；步骤3，利用切片机切下淀积得到的SiO2材料，然后利用研磨机将SiO2材料抛光，得到SiO2玻璃片；步骤4，将SiO2玻璃片固定在支架(1)上，扫描反射镜(3)以45度斜角固定在扫描平台(5)上，采用连续发光激光器作为刻蚀光源(4)，输出的激光以45度入射扫描反射镜(3)，反射后的激光通过均匀相位掩模板(2)，打到步骤3得到的SiO2玻璃片上，移动扫描平台(5)，平台移动精度为100nm，完成光刻过程，光刻凹槽的宽度及间隔由均匀相位掩模板(2)决定；步骤5，将经过步骤4得到的SiO2玻璃片放置距离超音速喷管(8)的出口5～25mm处，将卤化银粉末放入原料混合室(6)内，打开工作气体He，气体压力为1.5～3.5MPa，He气分为两路，其中一路进入原料混合室(6)内，将卤化银送入喷枪(7)；另外一路经预加热装置(9)预热，预热温度为100～600℃，驱动喷枪(7)工作，喷枪喷出的卤化银粉末，经超音速喷管(8)并以500～1000m/s喷出，将卤化银填充在步骤4得到的SiO2玻璃片的凹槽内，得到含卤化银的SiO2玻璃片；步骤6，重复步骤1和步骤2，在由步骤5得到的卤化银填充后SiO2玻璃片上喷涂SiO2，当表面沉积的SiO2的厚度达到1mm时停止喷涂；步骤7，再次利用研磨机将步骤6得到的整个SiO2玻璃片抛光，得到含银偏振玻璃。