[发明专利]一种工艺控制方法及控制系统有效
| 申请号： | 200910084136.4 | 申请日： | 2009-05-20 |
| 公开（公告）号： | CN101556460A | 公开（公告）日： | 2009-10-14 |
| 发明（设计）人： | 张善贵 | 申请（专利权）人： | 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 |
| 主分类号： | G05B17/02 | 分类号： | G05B17/02 |
| 代理公司： | 北京润泽恒知识产权代理有限公司 | 代理人： | 苏培华 |
| 地址： | 100016北京市*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种工艺控制方法及控制系统，能够精确地实现工艺调节和控制，以提高工艺数据的利用效率。所述方法包括：预先建立工艺输入变量与输出变量之间的函数关系式，并确定所述函数关系式的系数；预置工艺基准输入变量值；利用所述函数关系式的系数对所述基准输入变量值进行调节，每次调节之后，进行如下控制步骤：利用调节后的基准输入变量值测量真实输出变量值；判断所述真实输出变量值与工艺控制目标之间的误差是否达到控制精度，如果达到，则结束所述调节；如果未达到，则继续对基准输入变量值进行调节，直到达到控制精度。本发明能定量的分析出工艺输入变量对输出变量的影响权重的大小，从而实现精确的工艺定量调节和反馈控制。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 工艺 控制 方法 控制系统 | ||
【主权项】：
1、一种工艺控制方法，其特征在于，包括：预先建立工艺输入变量与输出变量之间的函数关系式，并确定所述函数关系式的系数；预置工艺基准输入变量值；利用所述函数关系式的系数对所述基准输入变量值进行调节，每次调节之后，进行如下控制步骤：利用调节后的基准输入变量值测量真实输出变量值；判断所述真实输出变量值与工艺控制目标之间的误差是否达到控制精度，如果达到，则结束所述调节；如果未达到，则继续对基准输入变量值进行调节，直到达到控制精度。
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