[发明专利]具有大动态范围和高分辨率的光谱测量方法无效
| 申请号： | 200910084160.8 | 申请日： | 2009-05-20 |
| 公开（公告）号： | CN101893507A | 公开（公告）日： | 2010-11-24 |
| 发明（设计）人： | 徐团伟;李芳;刘育梁 | 申请（专利权）人： | 中国科学院半导体研究所 |
| 主分类号： | G01M11/02 | 分类号： | G01M11/02;G01J3/28 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 汤保平 |
| 地址： | 100083 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 一种具有大动态范围和高分辨率的光谱测量方法，包括：将可调谐激光器，被测光器件和光谱仪依次连接；设置可调谐激光器的波长扫描范围，步长以及每个波长的保持时间，设置光谱仪的波长范围，分辨率和扫描时间；进行第一次扫描，获得被测光器件的整体光谱图；选择所需测量光谱的细节处，以细节处的起始和终止波长来设置可调谐激光器的波长扫描范围，降低可调谐激光器的步长至所需要的分辨率，选取细节处的中间波长作为光谱仪的中心波长，并适当设置光谱仪的分辨率；进行第二次扫描，从光谱仪中记录可调谐激光器每个波长对应的光功率值；建立直角坐标系，以可调谐激光器扫描过的波长为横轴，以光功率为纵轴，逐点绘出每个波长对应的光功率，即可得到细节处的光谱信息。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 动态 范围 高分辨率 光谱 测量方法 | ||
【主权项】：
一种具有大动态范围和高分辨率的光谱测量方法，该方法包括：将可调谐激光器，被测光器件和光谱仪依次连接；设置可调谐激光器的波长扫描范围，步长以及每个波长的保持时间，设置光谱仪的波长范围，分辨率和扫描时间；对被测光器件进行第一次扫描，获得被测光器件的整体光谱图；选择所需测量光谱的细节处，以细节处的起始和终止波长来设置可调谐激光器的波长扫描范围，降低可调谐激光器的步长至所需要的分辨率，选取细节处的中间波长作为光谱仪的中心波长，并适当设置光谱仪的分辨率；对被测光器件进行第二次扫描，从光谱仪中记录可调谐激光器每个波长对应的光功率值；建立直角坐标系，以可调谐激光器扫描过的波长为横轴，以光功率为纵轴，逐点绘出每个波长对应的光功率，即可得到细节处的光谱信息。
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