[发明专利]一种电容式MEMS非制冷红外探测器及其制备方法无效
| 申请号： | 200910085133.2 | 申请日： | 2009-06-02 |
| 公开（公告）号： | CN101561319A | 公开（公告）日： | 2009-10-21 |
| 发明（设计）人： | 于晓梅;潘程 | 申请（专利权）人： | 北京大学 |
| 主分类号： | G01J5/34 | 分类号： | G01J5/34;B81B7/02;B81C1/00 |
| 代理公司： | 北京君尚知识产权代理事务所(普通合伙） | 代理人： | 贾晓玲 |
| 地址： | 100871北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种电容式MEMS非制冷红外探测器及其制备方法，属于红外光电探测和微电子机械系统技术领域。该红外探测器包括微悬臂梁阵列、读出悬臂梁形变的电路以及支撑悬臂梁阵列的衬底，微悬臂梁阵列构成探测器的红外焦平面阵列，每一个像元为一双材料悬臂梁结构，该悬臂梁结构通过锚点固定在衬底上；在悬臂梁结构上设置一电极板，在衬底上设置另一电极板，共同构成电容结构，该电容结构的电容信号的改变量由位于衬底上的读出悬臂梁形变的电路读出。本发明提出的制备方法可实现焦平面阵列与读出电路的单片集成，适于批量生产。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 电容 mems 制冷 红外探测器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
1、一种电容式MEMS非制冷红外探测器，包括微悬臂梁阵列、读出悬臂梁形变的电路以及支撑悬臂梁阵列的衬底，其特征在于：所述微悬臂梁阵列构成探测器的红外焦平面阵列，每一个像元为一双材料悬臂梁结构，该悬臂梁结构通过锚点固定在衬底上，在所述悬臂梁结构上设置一电极板，在衬底上设置另一电极板，共同构成电容结构，该电容结构的电容信号的改变量由位于衬底上的读出悬臂梁形变的电路读出。
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