[发明专利]内置式低温泵抽速测量装置及方法无效
| 申请号： | 200910086079.3 | 申请日： | 2009-06-08 |
| 公开（公告）号： | CN101576075A | 公开（公告）日： | 2009-11-11 |
| 发明（设计）人： | 蔡国飙;王文龙;凌桂龙;黄本诚;张国舟;李晓娟 | 申请（专利权）人： | 北京航空航天大学 |
| 主分类号： | F04B51/00 | 分类号： | F04B51/00;F04B37/08 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 100191*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供一种用于大型内置式低温泵抽速测量的测量装置，第一次提出双层筒形结构的散流装置(16)，有效降低了气体射流效应对大型内置式低温泵抽速测量的影响，第一次将减压器(23)配合音速喷嘴(22)精确调节体积流量的方法应用到内置式低温泵抽速测量领域，提供一种音速喷嘴式气体供应装置，针对该供气方式提出了音速喷嘴式大型内置式低温泵抽速测量方法。 | ||
| 搜索关键词： | 内置 低温泵 测量 装置 方法 | ||
【主权项】：
1、内置式低温泵的抽速测量装置，包括真空容器(1)、导气管路(17)、散流装置(16)，其特征在于：导气管路(17)的容器内部分连接有双层筒形结构的散流装置(16)；导气管路的容器外部分连接有音速喷嘴式供气装置。
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