[发明专利]一种矩形刻蚀离子枪

摘要

一种矩形刻蚀离子枪，其包括：由下至上同轴放置的第一、第二、第三和第四极靴；位于第一和第二极靴端面间的第一磁铁；位于第二和第三极靴端面间的第二磁铁；位于第三极靴上端面之上的第四极靴；位于第二磁铁内的矩形环状上阳极；位于第一磁铁与矩形管之间的矩形环状下阳极；矩形环状下阳极的上端面为外高内低的矩形锥面；搭置于第四极靴上端面的弧形板状屏栅；悬空置于屏栅上方的弧形板状加速栅；设于第一极靴下表面中心处的底座，底座覆盖矩形管的内孔；阴极灯固定在底座上且位于矩形管内；灯丝位于矩形环状上阳极的矩形环内；充气管穿过底座位于矩形管与阴极灯之间，并与氩气源相通。具有刻蚀用气量小，体积小，功耗低和离子束均匀等优点。

主权项

一种矩形刻蚀离子枪，其包括：极靴、位于极靴端面之间的磁铁、上阳极、下阳极、阴极灯、屏栅和加速栅；其特征在于：所述极靴由从下至上同轴放置的一第一极靴(2)、第二极靴(4)、第三极靴(7)和第四极靴(8)组成；所述第一极靴(2)为上表面中心带有一矩形管的环状矩形板；所述第二极靴(4)、第三极靴(7)和第四极靴(8)均为环状矩形板；所述磁铁由第一磁铁(3)和第二磁铁(5)组成；第一磁铁(3)位于所述第一极靴(2)和所述第二极靴(4)端面之间；第二磁铁(5)位于所述第二极靴(4)和所述第三极靴(7)端面之间；所述第四极靴(8)位于所述第三极靴(7)上端面之上；所述第一极靴(2)、第一磁铁(3)、第二极靴(4)、第二磁铁(5)、第三极靴(7)和第四极靴(8)构成外表面为矩形的一整体；所述上阳极为位于所述第二磁铁(5)之内的矩形环状上阳极(6)；所述下阳极为位于所述第一磁铁(3)与所述第一极靴(2)的矩形管之间的矩形环状下阳极(1)；所述矩形环状下阳极(1)的上端面为外高内低的矩形锥面；所述屏栅为搭置于所述第四极靴(8)上端面上的一弧形板状屏栅(9)；所述加速栅为悬空置于所述弧形板状屏栅(9)上方0.5 2毫米的一弧形板状加速栅(10)；一设于所述第一极靴(2)下表面中心处的底座(19)，所述底座(19)覆盖所述第一极靴(2)的矩形管的内孔；所述阴极灯固定于所述底座(19)上且位于所述第一极靴(2)的矩形管内；所述阴极灯灯丝位于所述矩形环状上阳极(6)的矩形环内；所述阴极灯灯丝为碳化钼镧丝、钍钨丝或碳化钼镧丝；和穿过所述底座(19)且位于所述第一极靴(2)的矩形管与所述阴极灯之间的与氩气源相连通的充气管(18)；所述第一磁铁(3)的磁通量为0.5 1韦伯；所述第二磁铁(5)的磁通量为0.1 0.5韦伯。