[发明专利]一种多圆环光束整形器及其制作方法无效
| 申请号： | 200910087462.0 | 申请日： | 2009-06-25 |
| 公开（公告）号： | CN101930090A | 公开（公告）日： | 2010-12-29 |
| 发明（设计）人： | 虞钢;聂树真;郑彩云;何秀丽;宁伟键 | 申请（专利权）人： | 中国科学院力学研究所 |
| 主分类号： | G02B5/18 | 分类号： | G02B5/18;G02B27/00;G03F7/00 |
| 代理公司： | 北京中创阳光知识产权代理有限责任公司 11003 | 代理人： | 尹振启 |
| 地址： | 100190 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种多圆环光束整形器及其制作方法，包括步骤：(1)根据各个同心圆环的位置和强度比例计算光束整形器输入面上相位分布；(2)根据光束整形器相位数据量化后的参数制作模板；(3)利用模板对基片进行光刻和刻蚀过程，得到所需相位台阶结构，从而制得光束整形器。该光束整形器，包括光束整形器本体，光束整形器本体上有相互对应的光束输入面和光束输出面，光束输入面上设置有多个同心圆环，同心圆环上具有相位台阶结构。如将此光束整形器用于激光热负荷试验中，可用来模拟活塞在实际工作中温度场分布规律。此方法具有成本低、效率高、模拟可靠性高的特点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 圆环 光束 整形 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
一种多圆环光束整形器的制作方法，用于产生各圆环位置和强度任意分布的多圆环光束，包括如下步骤：1)根据各个同心圆环的位置和强度比例，计算光束整形器相位；2)根据光束整形器相位数据量化后的参数制作模板；3)利用模板对基片进行光刻和刻蚀，以得到所需相位台阶结构，从而制得光束整形器。
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