[发明专利]一种用于夹持盘状物的装置有效
申请号: | 200910087488.5 | 申请日: | 2009-06-23 |
公开(公告)号: | CN101587851A | 公开(公告)日: | 2009-11-25 |
发明(设计)人: | 张豹;王锐廷;张晓红;白德海 | 申请(专利权)人: | 北京七星华创电子股份有限公司 |
主分类号: | H01L21/687 | 分类号: | H01L21/687 |
代理公司: | 北京路浩知识产权代理有限公司 | 代理人: | 胡小永 |
地址: | 100016*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明涉及一种用于夹持盘状物的装置,该装置包括:旋转轴以及与可在旋转轴上旋转,用于固定盘状物的卡盘主体;卡盘主体为至少三个径向分布的辐条状支撑体或为圆盘,其下面设置有卡盘主体挡块,卡盘主体挡块上安装有弹簧;卡盘主体的边缘设置有至少三个夹持元件,用于卡紧盘状物,夹持元件底端设置有夹持元件挡块,夹持元件挡块可插入所述弹簧,挤压弹簧,直至触碰所述卡盘主体挡块;卡盘主体下与每个夹持元件相对位置均设置有驱动部件,用于通过推动或吸引使夹持元件旋转,从而放松或夹紧盘状物。本发明装置结构简单易实现,不易对盘状物造成破坏。 | ||
搜索关键词: | 一种 用于 夹持 盘状物 装置 | ||
【主权项】:
1、一种用于夹持盘状物的装置,该装置包括:旋转轴(1)以及可在所述旋转轴(1)带动下旋转的卡盘主体(2),其特征在于,所述卡盘主体(2)底面设置有卡盘主体挡块(8),所述卡盘主体挡块(8)上设置有弹簧(4);所述卡盘主体(2)的边缘设置有至少三个夹持元件(3),用于卡紧所述盘状物,所述夹持元件(3)可以其与所述卡盘主体(2)的连接点为旋转中心,在竖直平面旋转,所述夹持元件(3)底端设置有夹持元件挡块(7),所述夹持元件挡块(7)可插入所述弹簧(4),挤压弹簧(4),直至触碰所述卡盘主体挡块(8);所述卡盘主体(2)下,与每个所述夹持元件(3)相对的位置均设置有驱动部件(5),用于通过推动或吸引,使所述夹持元件(3)沿所述旋转中心旋转。
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H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
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