[发明专利]一种用于夹持盘状物的装置有效

专利信息
申请号: 200910087488.5 申请日: 2009-06-23
公开(公告)号: CN101587851A 公开(公告)日: 2009-11-25
发明(设计)人: 张豹;王锐廷;张晓红;白德海 申请(专利权)人: 北京七星华创电子股份有限公司
主分类号: H01L21/687 分类号: H01L21/687
代理公司: 北京路浩知识产权代理有限公司 代理人: 胡小永
地址: 100016*** 国省代码: 北京;11
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摘要: 发明涉及一种用于夹持盘状物的装置,该装置包括:旋转轴以及与可在旋转轴上旋转,用于固定盘状物的卡盘主体;卡盘主体为至少三个径向分布的辐条状支撑体或为圆盘,其下面设置有卡盘主体挡块,卡盘主体挡块上安装有弹簧;卡盘主体的边缘设置有至少三个夹持元件,用于卡紧盘状物,夹持元件底端设置有夹持元件挡块,夹持元件挡块可插入所述弹簧,挤压弹簧,直至触碰所述卡盘主体挡块;卡盘主体下与每个夹持元件相对位置均设置有驱动部件,用于通过推动或吸引使夹持元件旋转,从而放松或夹紧盘状物。本发明装置结构简单易实现,不易对盘状物造成破坏。
搜索关键词: 一种 用于 夹持 盘状物 装置
【主权项】:
1、一种用于夹持盘状物的装置,该装置包括:旋转轴(1)以及可在所述旋转轴(1)带动下旋转的卡盘主体(2),其特征在于,所述卡盘主体(2)底面设置有卡盘主体挡块(8),所述卡盘主体挡块(8)上设置有弹簧(4);所述卡盘主体(2)的边缘设置有至少三个夹持元件(3),用于卡紧所述盘状物,所述夹持元件(3)可以其与所述卡盘主体(2)的连接点为旋转中心,在竖直平面旋转,所述夹持元件(3)底端设置有夹持元件挡块(7),所述夹持元件挡块(7)可插入所述弹簧(4),挤压弹簧(4),直至触碰所述卡盘主体挡块(8);所述卡盘主体(2)下,与每个所述夹持元件(3)相对的位置均设置有驱动部件(5),用于通过推动或吸引,使所述夹持元件(3)沿所述旋转中心旋转。
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