[发明专利]一种制备近场光学探针的研磨装置及其方法

摘要

本发明公开了一种制备近场光学探针的装置及其方法，所述装置包括减振橡胶、支撑底板、三相无刷电机、调节架和光学显微镜，所述的支撑底板水平设置的减震橡胶上，支撑底板上固定三相无刷电机、调节架和光学显微镜；所述方法首先将石英光纤固定在调节架上，并以设定的角度固定在研磨材料的上方，当研磨材料旋转时，使光纤接近研磨材料并产生摩擦，然后将光纤沿其轴向旋转不同的角度，反复与研磨片接近并摩擦；即可磨制出三棱锥、四棱锥及圆锥等不同形状的近场光学探针。该方法克服了制作光纤探针锥角的限制，可以直接设定研磨锥角，制作方式灵活；制作过程安全、环保；制备时间短，参数容易精确控制，重复性好；整个装置的操作简便，制备成本低廉。

主权项

1、一种制备近场光学探针的研磨装置，其特征在于：该装置主要包括减振橡胶、支撑底板、三相无刷电机、调节架和光学显微镜；所述的支撑底板水平设置的减震橡胶上，支撑底板上固定三相无刷电机，三相无刷电机的主轴固定一旋转盘，在旋转盘上粘接一个研磨用橡胶垫，橡胶垫上设置研磨片，所述的研磨片用少量水铺在橡胶垫上；所述的调节架和光学显微镜分别固定在支撑底板两端；所述的调节架上固定有光纤，所述的光学显微镜作为光学辅助观察装置用于监测探针的研磨过程；所述的调节架结构主要包括光纤夹具、带刻度转轮、转轮架、可调节支架、支架底座、步进电机和二维移动台，所述的二维移动台固定在支撑底板上，可以在垂直于支撑底板的平面内沿竖直或水平方向运动；石英光纤竖直固定在光纤夹具的中心，光纤夹具固定在带刻度转轮的中心，带刻度转轮固定在转轮架中；带刻度转轮的旋转带动光纤夹具及石英光纤沿着自身的轴向转动；转轮架固定在可调节支架上，可调节支架通过支架底座固定在二维移动平台上；在转轮架上还固定有步进电机，步进电机通过皮带带动转轮转动，进而带动光纤夹具上的光纤转动，使得光纤前端在研磨片上研磨成各种角度的光纤探针；所述的可调节支架在支架底座中沿自身轴向转动，用以调节石英光纤与研磨片的夹角，进而控制光纤探针锥角的大小。