[发明专利]一种真空隔断阀

摘要

一种真空隔断阀，包括驱动杆，驱动杆前端滑动地设置在阀体内腔中；密封板，具有设有密封介质的密封面，设置在阀体内腔中，能够与在阀体内腔中的真空通道内端成型的端口周围内壁结合或脱离，以封闭或导通真空通道；驱动机构，设置在驱动杆与密封板之间，用于驱动密封板靠近或远离所述端口；还包括移动方向限制机构，设置在阀体与密封板之间，用于引导密封板在靠近端口周围内壁的移动部分，沿垂直于所述端口周围内壁的方向运动，限制密封面与端口周围内壁之间的相对滑动。采用移动方向限制机构，有效避免隔断或打开时密封部件间的磨擦位移，减少磨损，杜绝划伤，驱动杆强度高不弯曲持久耐用，有效降低维护维修成本，保障电镜性能与安全。

主权项

1.一种真空隔断阀，包括一个驱动杆，所述驱动杆前端滑动地设置在阀体内腔中；一个密封板，具有设有密封介质的密封面，设置在所述阀体内腔中，所述密封面能够与在所述阀体内腔中的真空通道内端成型的端口周围内壁结合或脱离，以封闭或导通所述真空通道；一个驱动机构，设置在所述驱动杆与所述密封板之间，用于驱动所述密封板靠近或远离所述端口；其特征在于：还包括一个移动方向限制机构，设置在所述阀体与所述密封板之间，用于引导所述密封板在靠近所述端口周围内壁的移动部分，沿垂直于所述端口周围内壁的方向运动，限制所述密封面与所述端口周围内壁之间的相对滑动。