[发明专利]一种MEMS传声器有效
| 申请号： | 200910088456.7 | 申请日： | 2009-07-01 |
| 公开（公告）号： | CN101938682A | 公开（公告）日： | 2011-01-05 |
| 发明（设计）人： | 宋青林;潘昕;庞胜利;隋鸿鹏 | 申请（专利权）人： | 歌尔声学股份有限公司 |
| 主分类号： | H04R19/04 | 分类号： | H04R19/04;H04R1/00 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 周长兴 |
| 地址： | 261031 山东省潍*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 一种MEMS传声器，包括：一基底，基底的中心部开设有贯穿孔，贯穿孔的形状为圆形或方形，形成MEMS传声器的背腔；一背极板，设置在基底的上方；背极板延伸出一连接外部电路的连接点；一隔离层，设置在背极板的上方；一振膜，其边缘部分固定在隔离层的上端，将振膜悬空地支撑在隔离层上，该振膜上设有与外部电路相连的连接点。背极板和振膜的形状与基底的贯穿孔形状相同。通过这种设计，可以有效的增加MEMS传声器背极板层的强度，避免振膜层的振动带动背极板层，并且不会牺牲振膜层和背极板层之间的有效相对面积。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 mems 传声器 | ||
【主权项】：
一种MEMS传声器，其主要包括：一基底，该基底的中心部开设有贯穿孔，该贯穿孔内侧壁空间设置有加强部，该加强部为中心往外侧散射，该加强部的上端与贯穿孔的上端为同一平面，由该贯穿孔形成MEMS传声器的背腔；一背极板，设置在基底的上方；该背极板延伸出一连接外部电路的连接点；该背极板的下表面与加强部的上端连接，由加强部将背极板悬空部分分解成多个单元，以增加MEMS传声器背极板层的强度；一隔离层，设置在背极板的上方；一振膜，其边缘部分固定在隔离层的上端，将振膜悬空地支撑在隔离层上，该振膜上设有与外部电路相连的连接点。
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