[发明专利]一种基片处理设备及其顶针升降装置

摘要

本发明公开了一种顶针升降装置，用于基片处理设备，包括支撑顶针的固定座，定位杆沿竖直方向穿过上述固定座的中部；上述定位杆与固定座之间具有径向间隙，且其末端与波纹管组件固定连接；固定座沿周向均匀开设有至少两个具有内螺纹的通孔，调节螺钉通过螺纹与所述通孔配合，且其下端支撑于所述波纹管组件的上表面。这样，只需通过调整调节螺钉即可对装置进行调平，调平过程简单方便，有效地缩减了装置的平均维护时间；同时，提高了装置的调平范围，从而能够降低对装置中各零件的加工和装配精度的要求，从而节约了生产成本。本发明还公开了一种基片处理设备。

主权项

一种顶针升降装置，用于基片处理设备，包括支撑顶针的固定座，定位杆沿竖直方向穿过所述固定座的中部，且两者之间具有适当的径向间隙；所述定位杆的末端与波纹管组件的顶部固定连接；其特征在于，所述固定座具有至少两个在其周向上均匀分布且具有内螺纹的通孔，各所述通孔中均设置调节螺钉；所述调节螺钉通过外螺纹与所述通孔的内螺纹相配合，且其下端支撑于所述波纹管组件的上表面。