[发明专利]一种化学浴沉积硫化铟薄膜的方法

摘要

本发明涉及一种化学浴沉积硫化铟薄膜的方法，属于功能薄膜材料的制备技术领域。目前现有的制备硫化铟的方法，对沉积条件要求较高，需要高温加热，对沉积衬底有很大的局限性。制备硫化铟的方法采用柠檬酸或丙二酸作为络合剂，在低于100℃的水浴环境下，即可在改性的普通玻璃上均获得具有立方结构，均一致密且高度结晶的硫化铟薄膜。本发明对衬底无选择性，低温溶液中合成，具有良好结晶性，工艺简单，成本低廉，适合于大规模生产应用。

主权项

1、一种化学浴沉积硫化铟薄膜的方法，其特征在于，包括以下步骤：a)衬底的预处理：将玻璃衬底依次用甲苯、丙酮、乙醇在超声清洗器中充分清洗后，再用去离子水冲洗，然后用体积比为7∶3的浓H2SO4和30％H2O2溶液在80℃反应氧化30分钟，之后将衬底浸泡于体积比1∶100的巯基硅乙酯的无水乙醇溶液(巯基硅乙酯∶无水乙醇＝1∶100)中，备用；b)将络合剂溶解于去离子水中，充分搅拌均匀后，加入氯化铟，络合剂与氯化铟的摩尔比为7∶1，持续搅拌溶液，得到完全澄清透明的溶液A；c)向溶液A中加入HCl溶液调节pH值为1～2，得到溶液B；d)向溶液B中缓慢加入硫代乙酰胺溶液，硫代乙酰胺与氯化铟摩尔比为7∶1，并搅拌均匀，得到澄清透明溶液C，并将C溶液转移至反应容器中；e)将经过预处理的玻璃衬底用去离子水冲洗后，放入盛有C的反应容器中，使衬底垂直放置于溶液中，防止反应气体挥发在衬底表面形成气泡影响薄膜连续性，将反应容器盖好，在70～90℃水浴条件下反应4～10小时，得到橙红色硫化铟薄膜。