[发明专利]一种种子注入式ArF准分子激光装置无效
| 申请号： | 200910089797.6 | 申请日： | 2009-07-24 |
| 公开（公告）号： | CN101964498A | 公开（公告）日： | 2011-02-02 |
| 发明（设计）人： | 许祖彦;薄勇;彭钦军;王志敏;许家林;高宏伟 | 申请（专利权）人： | 中国科学院理化技术研究所 |
| 主分类号： | H01S3/225 | 分类号： | H01S3/225;H01S3/094;H01S3/16;H01S3/10;H01S3/13 |
| 代理公司： | 北京泛华伟业知识产权代理有限公司 11280 | 代理人： | 王勇;徐丁峰 |
| 地址： | 100190 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供一种种子注入式ArF准分子激光装置，包括全固态种子激光器，ArF准分子激光器，所述全固态种子激光器包括全固态激光器、非线性光学晶体变频器和KBe2BO3F2晶体倍频器，所述全固态激光器用于产生基频激光，所述非线性光学晶体变频器用于接收所述基频激光将其变频至波长为386.8nm，所述KBe2BO3F2晶体倍频器用于接收所述386.8nm的激光并将其倍频成为波长193.4nm的种子激光，所述全固态种子激光器将所述种子激光注入到所述ArF准分子激光器中；所述ArF准分子激光器接收并放大所述种子激光。根据本发明的种子注入式ArF准分子激光装置结构简单，更易于实用化、工程化，并且能够同时实现高功率、高光束质量与窄线宽的193.4nm激光输出。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 种子 注入 arf 准分子激光 装置 | ||
【主权项】：
一种种子注入式ArF准分子激光装置，包括全固态种子激光器，ArF准分子激光器，所述全固态种子激光器包括全固态激光器、非线性光学晶体变频器和KBe2BO3F2晶体倍频器，所述全固态激光器用于产生基频激光，所述非线性光学晶体变频器用于接收所述基频激光将其变频至波长为386.8nm，所述KBe2BO3F2晶体倍频器用于接收所述386.8nm的激光并将其倍频成为波长193.4nm的种子激光，所述全固态种子激光器将所述种子激光注入到所述ArF准分子激光器中；所述ArF准分子激光器接收并放大所述种子激光。
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