[发明专利]非制冷红外焦平面阵列及其制备方法与应用

摘要

本发明公开一种非制冷红外焦平面阵列及其制备方法与应用。该红外焦平面阵列，由微悬臂梁像元阵列、支撑所述微悬臂梁像元阵列的衬底和位于所述衬底上的电路组成；其中，所述微悬臂梁像元阵列由红外吸收面、悬臂梁支腿、MOSFET器件、输出引线和支撑锚点组成。本发明提供的红外焦平面阵列没有任何的特殊工艺，具有易于与IC实现单片集成的优点，适于工业大批量制备，易得到不同精度需求的产品。并为高分辨率提供了极大的提升空间，极大的简化了电路规模和设计成本，为大规模产业化提供了可行的设计方案。

主权项

一种非制冷红外焦平面阵列，由微悬臂梁像元阵列、支撑所述微悬臂梁像元阵列的衬底和位于所述衬底上的电路组成；其中，所述微悬臂梁像元阵列由红外吸收面、悬臂梁支腿、MOSFET器件、输出引线和支撑锚点组成；所述悬臂梁支腿由双材料支腿和热隔离支腿组成；所述双材料支腿由位于上方的热膨胀层1和位于下方的热膨胀层2组成；所述红外吸收面的一端与所述双材料支腿热膨胀层2的一端相连，所述双材料支腿热膨胀层2的另一端与所述热隔离支腿的一端相连，所述热隔离支腿的另一端与所述支撑锚点相连；所述MOSFET器件位于所述双材料支腿热膨胀层2下面，或者，所述MOSFET器件的源区和漏区制备在所述衬底处，栅区附着在所述双材料支腿热膨胀层2下面，沟道区位于所述栅区下面的源区和漏区之间的区域；所述输出引线的一端与所述MOSFET器件相连，另一端与所述衬底上的电路相连。