[发明专利]一种离子注入机双法拉第杯测量比值校正系统及校正方法

摘要

本发明公开了一种离子束注入机上对双法拉第杯测量比例值进行校正的系统和方法。该校正系统包括移动法拉第杯、剂量采样法拉第杯，闭环控制法拉第杯、剂量检测器、数控扫描发生器、电机运动控制器、控制计算机，各个组件之间的连接关系如摘要附图所示。校正步骤包括：1、启动离子束沿水平方向均匀地扫描，将移动法拉第杯移到硅晶片的中心位置，对扫描离子束进行剂量采样，求算出中心位置处的注入剂量值，公式为：2、再用闭环控制法拉第杯采样扫描离子束的注入剂量，计算出该处的注入剂量值，公式为：3、计算出两法拉第杯剂量探测的比例值，公式为：本发明将两个法拉第杯对注入剂量的探测统一到同一标准，保证离子注入剂量检测的准确性。

主权项

一种对双法拉第杯测量比值进行校正的装置，包括移动法拉第杯、剂量采样法拉第杯、闭环控制法拉第杯、剂量检测器、数控扫描发生器、电机运动控制器和控制计算机，其特征在于：所述的移动法拉第杯输出剂量检测器连接；所述的剂量采样法拉第杯输出与剂量检测器连接；所述的闭环控制法拉第杯输出与剂量检测器连接；所述的数控扫描发生器输出与扫描偏转器连接；所述的电机运动控制器输出与移动法拉第杯驱动电机连接；所述的移动法拉第杯、剂量采样法拉第杯、闭环控制法拉第杯、剂量检测器、数控扫描发生器、电机运动控制器与控制计算机连接，由计算机协调动作并进行工作。