[发明专利]一种分析光栏的控制系统

摘要

本发明公开了一种调节分析光栏的控制系统，特别涉及半导体制造中离子注入机分析器出口所用的分析光栏电极的控制，属于半导体器件制造的控制领域。包括主控制器、模拟量控制及采集电路、DC电机、高精密电位器、三相交流电机、接触器、转速计和电机反馈控制驱动电路；其中模拟量控制电路将主控制器发出的分析缝位置信号处理为电压信号与装在DC电机上的高精密电位器采集的电压信号进行比较，经PID电路处理后，与电压反馈信号和电流反馈信号构成双闭环来控制电机迅速稳定在目的地。本发明实用性强，消除了干扰信号引起的电压尖峰，从根本上提高了系统抗干扰的能力；此系统在电流反馈控制驱动电路中设有过流保护电路，使系统更加安全可靠。

主权项

一种新型的分析光栏的控制系统，它包括：主控制器、模拟量输出控制电路板、DC电机、固态接触器、三相交流电机、电位器、转速计和反馈控制及直流电机驱动电路板，其特征在于：所述的主控制器通过光纤与模拟量控制及采集电路连接，该分析光栏为沿X水平方向移动，其移动位置是通过主控制器定位的；所述的模拟量控制及采集电路与电机反馈控制驱动电路和固态接触器连接，模拟量控制电路将主控制器发出的分析缝位置信号处理为电压信号与装在DC电机上的高精密电位器采集的电压信号进行比较，经电机反馈控制驱动电路处理后输送给DC电机和启动三相交流电机，带动分析缝运动到指定的位置；另主控制器发的三相电机启动信号，触发三相电机接触器，启动三相交流电机，并通过装转轴上的转速计，实时检测交流电机旋转速度。