[发明专利]一种具有对称结构的微机械差分电容加速度计

摘要

一种具有对称结构的微机械差分电容加速度计，通过锚合区域anchor从上、下两个方向和可动硅结构组件连接。硅结构组件的弹性支撑梁分上、下两层分布在可动质量块、固支框架之间，连接可动质量块和固支框架，梁和可动质量块以及固支框架的连接处采用圆角过渡，可动质量块的上表面和下表面都分布有气体导流凹槽；电极盖板可由硅材料制成。质量块的上表面和下表面都分布的气体导流凹槽有利于调节所述的加速度计的压膜阻尼效应，从而从结构上改善离面式电容检测加速度计的动态特性；本发明所述加速度计的多根弹性支撑梁为单一掺杂浓度的单晶硅材料制成，消除了由于采用不同材料所引入的热失配应力，以及由于单晶硅掺杂浓度不同引入的热失配应力。

主权项

1、一种微机械差分电容加速度计，其特征在于包括：上电极盖板、下电极盖板，分别通过锚合区域anchor从上、下两个方向和可动硅结构组件连接；可动硅结构组件由可动质量块、固支框架、多个弹性支撑梁组成，其中弹性支撑梁分上、下两层分布在可动质量块、固支框架之间，连接可动质量块和固支框架，梁和可动质量块以及固支框架的连接处采用圆角过渡，可动质量块的上表面和下表面都分布有气体导流凹槽；上、下电极盖板由硅材料制成，为单晶硅材料；上电极盖板和下电极盖板上的检测-驱动电极、电信号引出线、压焊电极通过绝缘层与电极盖板的单晶硅衬底为电绝缘；电极盖板的单晶硅衬底接地；在上电极盖板和下电极盖板上的检测/驱动电极之上有多个绝缘阻挡块作为敏感轴向抗过载阻挡块，在上电极盖板和下电极盖板上的检测/驱动电极四周有多个突起为非敏感轴向抗过载阻挡块；或：电极盖板由玻璃材料制成，采用和单晶硅热失配较小的玻璃材料；玻璃材料本身电绝缘，上电极盖板和下电极盖板上的检测-驱动电极、电信号引出线、压焊电极直接制作在玻璃衬底上实现电绝缘；在上电极盖板和下电极盖板上的检测/驱动电极之上有多个绝缘阻挡块作为敏感轴向抗过载阻挡块，在上电极盖板和下电极盖板上的检测/驱动电极四周有多个突起为非敏感轴向抗过载阻挡块。