[发明专利]一种超低频宽带电容式次声传感器无效
| 申请号： | 200910091604.0 | 申请日： | 2009-08-26 |
| 公开（公告）号： | CN101995289A | 公开（公告）日： | 2011-03-30 |
| 发明（设计）人： | 赵树卿;杨亦春;滕鹏晓;郭泉 | 申请（专利权）人： | 中国科学院声学研究所 |
| 主分类号： | G01H11/06 | 分类号： | G01H11/06;G01D5/241 |
| 代理公司： | 北京泛华伟业知识产权代理有限公司 11280 | 代理人： | 王勇 |
| 地址： | 100190 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 一种超低频宽带电容式次声传感器，其特征在于，包括构成传感器腔的腔壁、固定在所述腔壁内侧的电容支撑体(19)以及固定在所述电容支撑体上的敏感膜(5)，电容支撑体(19)和敏感膜(5)将所述传感器腔分为前腔和后腔，所述前腔的腔壁设有进气通道；所述电容支撑体上设有均压管(12)用于连通所述前腔和后腔；所述后腔内设有刚性电容后极板(9)，所述刚性电容后极板(9)与敏感膜(5)平行形成用于输出测量信号的头电容；所述刚性电容后极板可以沿着垂直于所述敏感膜的方向移动以调节静态头电容。本发明适用于工作环境湿度大，温度变化大需要超低频下限并且稳定工作的环境。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 低频 宽带 电容 式次声 传感器 | ||
【主权项】：
一种超低频宽带电容式次声传感器，其特征在于，包括构成传感器腔的腔壁、固定在所述腔壁内侧的电容支撑体(19)以及固定在所述电容支撑体上的敏感膜(5)，电容支撑体(19)和敏感膜(5)将所述传感器腔分为前腔和后腔，所述前腔的腔壁设有进气通道；所述电容支撑体上设有均压管(12)用于连通所述前腔和后腔；所述后腔内设有刚性电容后极板(9)，所述刚性电容后极板(9)与敏感膜(5)平行形成用于输出测量信号的头电容；所述刚性电容后极板可以沿着垂直于所述敏感膜的方向移动以调节静态头电容。
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