[发明专利]用于测量近场扫描光学显微镜探针孔径的标样和测量方法无效
| 申请号： | 200910091794.6 | 申请日： | 2009-08-25 |
| 公开（公告）号： | CN101995367A | 公开（公告）日： | 2011-03-30 |
| 发明（设计）人： | 李江艳;张东香;宁廷银;王志芳;江潮;李志远;沈电洪;张泽渤 | 申请（专利权）人： | 中国科学院物理研究所 |
| 主分类号： | G01N13/14 | 分类号： | G01N13/14 |
| 代理公司： | 北京泛华伟业知识产权代理有限公司 11280 | 代理人： | 王勇 |
| 地址： | 100190 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供一种测量近场扫描光学显微镜探针孔径尺寸的标样，包括透光的基片(1)和在该基片(1)的表面上的不透光的膜层(2)组成；膜层(2)具有至少一个测量单元(3)，每个测量单元(3)上包括至少两个矩形的无膜层区域构成，所述无膜层区域沿该测量单元的轴线方向顺序排列，相邻两个所述无膜层区域之间由一条膜线(5)隔开，膜线(5)的宽度大于待测量的探针孔径尺寸。本发明还提供一种利用根据本发明的标样测量近场扫描光学显微镜探针孔径的方法。根据本发明的测量探针孔径尺寸的标样和测量方法适用于各种NSOM，不需要增加任何附加设备，使用方便，并且由于所采用的坚固的基片和膜层，测量不但不会影响探针的性能，还可以多次使用；测量结果准确，给出的是与NSOM设置参数相应的探针孔径尺寸。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 测量 近场 扫描 光学 显微镜 探针 孔径 标样 测量方法 | ||
【主权项】：
一种测量近场扫描光学显微镜探针孔径尺寸的标样，包括透光的基片(1)和在该基片(1)的表面上的不透光的膜层(2)组成；膜层(2)具有至少一个测量单元(3)，每个测量单元(3)上包括至少两个矩形的无膜层区域构成，所述无膜层区域沿该测量单元的轴线方向顺序排列，相邻两个所述无膜层区域之间由一条膜线(5)隔开，膜线(5)的宽度大于待测量的探针孔径尺寸。
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