[发明专利]应用于半导体刻蚀清洗设备的全塑料高速机械手

摘要

应用于半导体刻蚀清洗设备的全塑料高速机械手，属于机械技术领域。采用全自动单轴模式、具备专用移载物水平保持机构、全防腐塑料机构设计方案、动力源与执行机构分区设置，是达到了高速运转、平稳传送、无金属离子污染、无颗粒污染、防腐蚀等优越性和谐统一的机械手。

主权项

1、一种应用于半导体刻蚀清洗设备的全塑料高速机械手，其特征是：机械手移载物(4)在前排水洗槽(6)与后排刻蚀槽(5)之间进行传递；机械手固定支板(11)为设备整体外壳(1)的一部分，是机械手整体(3)的支点，并将机械手的动力源(2)部分隔离在设备的外部，机械手动力源(2)位于设备的外部，通过同步带将动力传给机械手动力源连接同步轮(7)；两个机械手臂连接同一动力源(2)；整个机械手围绕机械手动力源连接同步轮(7)所在转轴旋转；机械臂上外罩(17)与下外罩(31)将机械臂自身用于保持机械手挂钩(23)传递方向的机构密封在其内部；机械手动力源连接同步轮(7)安装在机械臂连接轴(9)上，采用动力锁连接方式；机械臂连接轴固定螺钉(8)将机械臂连接轴(9)固定在机械臂(16)上；端面垫圈(13)连接在主轴轴套(12)与机械臂主轴同步轮(15)之间；端面垫圈(10)连接在机械手固定支板(11)的圆筒与机械臂连接轴(9)之间；机械臂主轴同步轮固定螺钉(14)将机械臂主轴同步轮(15)固定在机械臂(16)上，同时螺钉顶部不高于同步轮端面；机械臂主轴同步轮(15)与机械臂随动同步轮(26)之间通过同步带(27)连接；同步带张紧机构为：张紧轴锁紧螺母(19)与张紧轴(28)自身凸台将机构锁紧在机械臂(16)上，张紧轴轴套锁紧螺母(30)将张紧轴轴套(29)锁紧在张紧轴(28)上，同步带(27)压紧在张紧轴轴套(29)上；机械手挂钩(23)与机械臂随动同步轮(26)之间采用方形子口定位方式连接；端面垫圈(22)连接在穿过机械臂(16)机械手挂钩旋转轴套(24)与机械手挂钩(23)之间；端面垫圈(25)连接在穿过机械臂(16)机械手挂钩旋转轴套(24)的另一端与机械臂随动同步轮(26)之间；机械手挂钩锁紧螺母(21)锁紧在机械臂随动同步轮(26)上，使整个挂钩机构固定在机械臂(16)上；机械臂主轴同步轮(15)随机械臂(16)一起旋转。