[发明专利]一种微电子工业用甲苯的提纯方法无效
申请号: | 200910092509.2 | 申请日: | 2009-09-10 |
公开(公告)号: | CN101696146A | 公开(公告)日: | 2010-04-21 |
发明(设计)人: | 刘殿莹;郭存林;赵玉峰;杨秀玉 | 申请(专利权)人: | 北京益利精细化学品有限公司 |
主分类号: | C07C15/06 | 分类号: | C07C15/06;C07C7/04;C07C7/12;B01J20/10 |
代理公司: | 北京市商泰律师事务所 11255 | 代理人: | 毛燕生 |
地址: | 100018 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 一种微电子工业用甲苯的提纯方法,其包括如下步骤:在精馏设备中抽入工业甲苯,然后按照甲苯比吸附剂20~40∶1的比例加入吸附剂,及每1000公斤的甲苯加入25~50公斤的吸附剂进行精馏,其中所述吸附剂为组成如下的白土:二氧化硅80~82%,钙、镁、铁各3~5%,其他组分6~9%。 | ||
搜索关键词: | 一种 微电子 工业 甲苯 提纯 方法 | ||
【主权项】:
一种微电子工业用甲苯的提纯方法,其包括如下步骤:在精馏釜中抽入工业甲苯,然后按照甲苯比吸附剂的比为20~40∶1的比例加入吸附剂,及每1000公斤的甲苯加入25~50公斤的吸附剂,进行精馏,其中所述吸附剂为组成如下的白土:二氧化硅80~82%,钙、镁、铁各3~5%,其他组分6~9%。
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