[发明专利]基于激光回馈的光学元件微小位相延迟测量装置

摘要

本发明涉及一种基于激光回馈的光学元件微小位相延迟测量装置，属于激光测量技术领域，其特征是利用632.8nm的He-Ne激光器与外部反射镜和四分之一波片构成的双折射激光回馈系统来测量光学元件微小的位相延迟。被测光学元件安放在激光腔中，当外部反射镜沿激光轴线左右移动时，激光的偏振态将在两个正交的方向跳变。伴随着偏振跳变，激光模式两个本征态的频率是不同的，并且它们之间的频差与激光内腔的位相延迟的大小有关，根据这一原理可以实现光学元件微小位相延迟的测量。激光回馈光学元件微小位相延迟测量方法及其实现装置具有结构简单、装配调整容易、测量精度高、成本低的特点。

主权项

1.基于激光回馈的光学元件微小位相延迟测量装置，其特征在于，所述的基于激光回馈的光学元件微小位相延迟测量装置含有：A：半内腔式的632.8nm的He-Ne激光器，所述的He-Ne激光器含有：增益管(8)，内有He、Ne混合气体，气压比例为7∶1；增透窗片(9)，所述的增透窗片(9)固定在所述增益管(8)的一端；谐振腔，所述的谐振腔包括：第一内腔反射镜(6)，所述的第一内腔反射镜(6)固定在所述增益管(8)的另一端；第二内腔反射镜(11)，位于上述增透窗片(9)的另一端；压电陶瓷(31)，固定在上述第二内腔反射镜(11)上，在输入电压作用下，所述的压电陶瓷(31)推动上述第二内腔反射镜(11)沿激光轴线方向左、右移动，改变激光的频率；被测光学元件(10)，安放在上述增透窗片(9)与所述第二内腔反射镜(11)之间；B：激光回馈外腔，所述的激光回馈外腔包括：激光回馈外腔反射镜(4)，固定在所述第一内腔反射镜(6)的另一侧，与所述第一内腔反射镜(6)有一个间隔；四分之一波片(5)，安放在上述激光回馈外腔反射镜(4)与所述第一内腔反射镜(6)之间；第二个压电陶瓷(32)，固定在所述激光回馈外腔反射镜(4)上，在输入电压作用下，推动所述激光回馈外腔反射镜(4)沿激光轴线方向左、右移动；所述的激光回馈外腔反射镜(4)、波片(6)、压电陶瓷(32)以及所述的He-Ne激光器中第一内腔反射镜(6)共同构成所述的激光回馈外腔；C：测量系统，所述的测量系统包括：扫描干涉仪，位于上述第二内腔反射镜(11)的外侧，靠近上述第二内腔反射镜(11)；示波器，与上述扫描干涉仪相连，观测激光模式，并测量激光偏振跳变时两个正交偏振态的频差；所述He-Ne激光器的石英外壳(7)、被测光学元件(10)、四分之一波片(5)固定在各自的支架上，第二个压电陶瓷(32)固定在二维调节架(2)上，所述各个支架、二维调节架(2)各自固定在装在罩子(1)内的平台(12)上。